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硅基高速光电探测器
Siliconbasedhighspeedphotodetector
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摘要
基于硅元素的半导体产业遵循着摩尔定律快速发展，最小特征尺寸的缩小逐步达到物理极限，硅光互连成为有效延续摩尔定律的首选，而光电探测器作为光电信息转换的接口扮演着重要的角色，本文介绍了目前光电产业的现状和背景，列举了常用探测器的类型，还原了硅基普通探测器的制作流程并做了交流测试，首次将带有载流子渡越因素考虑在内的电路模型与串联电感技术结合仿真，结果显示带宽可扩展近1.5倍，且不产生较大的不利影响。根据计算结果可以得
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