《TGV玻璃基载板加工技术规范》（征求意见稿.docx

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T/ACCEMXXXX—2024

TGV玻璃基载板加工技术规范

1范围

本文件规定了TGV玻璃基载板加工的原料接收与储存、场地、设备和人员、加工工艺、环境保护、安全。

本文件适用于TGV玻璃基载板的加工。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB6722爆破安全规程

GB12348工业企业厂界环境噪声排放标准GB/T12801生产过程安全卫生要求总则

GB15577粉尘防爆安全规程

GB/T15605粉尘爆炸泄压指南

GB16297大气污染物综合排放标准

GB39731电子工业水污染物排放标准

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。3.1

玻璃基板glasssubstrate表面极其平整的薄玻璃片。

4缩略语

下列缩列语适用于本文件。

TGV：玻璃通孔（ThroughGlassVia）

5原料接收与储存

5.1原料接收

5.1.1原料入厂后，仓库管理人员应确认其生产厂家、产品名称、规格及数量与采购计划相符，并有相应的质量证明文件（如合格证、出厂检验报告等）。

5.1.2初检合格后，仓库管理人员通知质量部门抽样检测。质量部门依据相应原料检验规程进行检验，根据相应原料标准验收原料，并做好记录。

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5.2原料储存

原料储存环境应清洁、通风、干燥、防火、防鼠、防雨、防潮、避光，原料应离地离墙，并应加盖遮蔽物。

6场地、设备和人员

6.1场地

6.1.1应远离居民生产、生活区。

6.1.2应避开爆破危险区，安全距离应符合GB6722的有关规定。

6.1.3宜靠近已有的交通运输线路、水源和主要输电线路。

6.1.4应满足环境保护、水土保持等要求。

6.1.5应适应生产规模需要。

6.1.6布局应合理、分隔清晰。

6.1.7应具备通风换气设施。

6.2设备

模具加工所使用的设备包括：——数控机床；

——激光微孔设备；——超声波清洗线；——刻蚀设备等。

6.3人员

6.3.1应掌握TGV玻璃基载板的加工工艺相关的基础知识，并经过专业岗位技术培训，考核合格后，持证上岗。

6.3.2应掌握环境保护和职业健康安全相关的基础知识，能应急解决加工过程中可能出现的问题。

6.3.3应了解厂房的管理制度，并自觉遵守人员着装和污染防控的各项规定。

6.3.4应熟练掌握加工设备的操作方法。

6.3.5从业人员应穿戴安全帽、防护眼镜、耳塞、防护口罩、防护手套、防护服、防护鞋进行加工作业。

6.3.6从业人员应接受安全生产教育和培训。新职工上岗前、调换工种人员应进行专门的安全教育培训。

7加工工艺

7.1基板切割

使用数控机床将玻璃基板切割成所需的尺寸和形状。

7.2通孔制作

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利用高能量的激光束对玻璃基板进行照射，使玻璃基板在激光的作用下发生改性、熔化、蒸发等物理变化，从而形成通孔。

7.3通孔清洗与处理

7.3.1采用超声波对形成的通孔进行清洗，去除通孔内的残留物质、碎屑等污染物。

7.3.2采用化学镀、物理气相沉积、等离子体处理等方法对玻璃基板的表面和通孔的内壁进行表面处理。

7.4金属化处理

7.4.1在玻璃基板的表面和通孔的内壁上沉积一层金属种子层，作为后续电镀的基础。

7.4.2在种子层的基础上，通过电镀的方法在通孔内填充金属，形成导电通路。电镀的金属材料一般为铜、金、银等，电镀过程中严格控制电流密度、电镀时间、电镀液的成分和温度等参数。

7.5光刻胶涂覆

在玻璃基板上涂覆一层光刻胶，然后通过光刻技术将设计好的线路图案转移到光刻胶上。

7.6检测

对加工完成的TGV玻璃基载板进行质量检测，包括外观检查、电性能测试、可靠性测试等。

7.7包装

加工完成后进行包装，包装时应采用能保护TGV玻璃基载板完整和质量的方式。7.8出库

出库前应经仓库登记和审核，有序出库。

8环境保护

8.1废气

大气污染物排放的浓度应符合GB16297的规定。

8.2废水

废水应由污水处理厂回收或经处理后达标排放，排放的废水应符合GB39731的规定。

8.3噪声

对振动较大的设备应采取有效的减振、隔振、消声、隔声等措施，厂界噪声应符合GB12348的规定。

9安全

9.1应建立、健全安全生产责任制，并做好安全生产计划工作。