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2023年真空设备项目可行性评估方案.docx

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    真空设备项目可行性评估方案

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    真空设备项目可行性评估方案

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    TOC\h\z32613概论 3

    14863一、真空设备项目建设单位基本情况 3

    24352(一)、真空设备项目建设单位基本情况 3

    32498(二)、真空设备项目主管单位基本情况 5

    2008(三)、真空设备项目技术协作单位基本情况 7

    13251二、真空设备项目建设目标 8

    7456(一)、真空设备项目建设目标 8

    5855三、工艺方案的选择 10

    20620(一)、基本要求 10

    5495(二)、典型工艺技术介绍 11

    31951(三)、真空

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