洁净室区空气洁净度等级表.doc

洁净室(区）空气洁净级别表

洁净度级别

尘粒最大允许数/立方米

≥0。5μm尘粒数

≥5μm尘粒数

微生物最大允许数

浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100级

3，500

0

5

1

10,000级

350，000

2，000

100

3

100,000级

3，500，000

20,000

500

10

300，000级

10,500，000

60，000

1000

15

ISO14644-1（国际标准）

空气洁净

度等级(N）

大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米)

0。1um

0。2um

0。3um

0。5um

1.0um

5.0um

ISOClass1

10

2

ISOClass2

100

24

10

4

ISOClass3

1，000

237

102

35

8

ISOClass4

10，000

2,370

1，020

352

83

ISOClass5

100,000

23，700

10，200

3,520

832

29

ISOClass6

1，000,000

237,000

102，000

35,200

8,320

293

ISOClass7

352,000

83，200

2,930

ISOClass8

3,520，000

832,000

29，300

ISOClass9

35，200,000

8，320，000

293，000

注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平

各国洁净度等级近似对照表

个/M≥0。5um

ISO

14644—1

US

209E(1992）

US

209D（1988)

EEC

cGMP（1989）

FRANCE

AFNOR（1981）

GERMANY

VDI2083(1990)

JAPAN

JAOA(1989）

1

—

—

—

—

-

-

-

3。5

2

—

-

-

—

0

2

10.0

-

M1

-

—

—

—

-

35.3

3

M1。5

1

-

-

1

3

100

—

M2

—

-

—

-

—

353

4

M2.5

10

—

—

2

4

1，000

—

M3

-

—

—

-

-

3,530

5

M3.5

100

A+B

4，000

3

5

10，000

—

M4

—

-

-

-

—

35，300

6

M4.5

1,000

1，000

-

4

6

100,000

-

M5

—

—

-

—

—

353，000

7

M5.5

10，000

C

400，000

5

7

1,000,000

—

M6

-

—

-

—

-

3,530，000

8

M6.5

100，000

D

4,000，000

6

8

10，000，000

—

M7

—

—

-

-

-

洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

空气洁净度等级(N）

大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m3)

0。1um

0.2um

0。3um

0。5um

1um

5um

1

10

2

2

100

24

10

4

3

1000

237

102

35

8

4（十级）

10000

2370

1020

352

83

5(百级)

100000

23700

10200

3520

832

29

6（千级）

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7（万级)

352000

83200

2930

8（十万级）

3520000

832000

29300

9（一百万级）8320000

293000