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高温四探针测试仪的测量原理测试仪工作原
理
高温四探针测试仪可以实现高温、真空及惰性气氛条件下测量
硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率和外延层、扩散层和离子注入层
的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其他导电薄膜的方块电阻。
高温四探针测试仪的测量原理
测量电阻率的方法很多，如三探针法、电容—电压法、扩展电
阻法等，四探针法则是一种广泛接受的标准方法，高温四探针测试
仪接受经典直排四探针原理，同时接受了双电测组合四探针法。
经典的直排四探针法测试电阻率，要求使用等间距的探针，假
如针间距离不等或探针有游移，就会造成试验误差。当被测片较小
或在大片边缘相近测量时，要求计入电场畸变的影响进行边界修正。
接受双电测组合四探针的显现，为提高薄膜电阻和体电阻率测
量精准度制造了有利条件。
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高温四探针测试仪接受双电测组合四探针法的优势
接受双电测组合四探针法进行测试，测试结果与探针间距无关，
能够除去间距不等及针尖机械游移变化的影响，因此四探针测试台
允许使用不等距探针头。
接受双电测组合四探针法具有自动修正边界效应的功能，对小
尺寸被侧片或探针在较大样品边缘相近时，不需要对样品做几何测
量，也不需要找寻修正因子。
接受双电测组合四探针法，不移动四探针针头，同时使用三种
模式测量，既可计算得到测试部位的电阻均匀性。
臭氧测试仪三大故障问题处理
在臭氧测试仪运行过程中难免碰到一些故障问题，其实很多都
不是什么大问题。
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一、臭氧测试仪故障问题：做试验时，臭氧浓度显示值不能稳
定掌控数值范围，显现或高或低的现象；
解决方案：变送器在出厂前要经过几十个小时的极化，经确认
稳定后方可出厂，一般显现这种情况多是在安装变送器时，变送器
与箱体有连接处，只要做好变送器与箱体的绝缘即可；
二、臭氧测试仪故障问题：做试验时，臭氧发生器一直在工作，
显示的数值也一直上升、掌控不住；
解决方案：显现此现象一般是固态输出信号不对或者是固态继
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电器断不开
三、臭氧测试仪故障问题：开机后30秒二次表没有臭氧浓度值
显示、只有上限或下限显示；
解决方案：
1.显现上限一般是没有4—20mA信号输入，检查臭氧变送器是
否有24V供电→4—20mA输出线路→传感器与主板的连接线是否脱
落或松动；
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2.显现下限可能是变送器零点过低，可调整零点（调零点：打
开前盖用特小改锥看清ZERO电位器逆时针渐渐调，直至二次表显示
数值）；
3.打开变送器前盖，把万用表调至电压档测量上面的两根铜针
（零点电压应为40mV）假如过高或过低，把它调整到40mV，调整方
法按2里面调零点的方法；
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