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证券研究报告半导体2024年08月21日芯源微(688037)深度报告：先锋，清洗+先进封装设备打开成长空间涂胶显影设备

最近一年走势市场数据2024/08/2060.87当前价格（元）52周价格区间（元）总市值（百万）流通市值（百万）总股本（万股）流通股本（万股）日均成交额（百万）近一月换手（%）36%21%6%芯源微沪深30060.52-168.8812,193.7612,193.7620,032.4620,032.46128.99-9%-24%61.40-39%2023/08/21相对沪深300表现表现1M3M12M芯源微-19.2%-5.8%-3.5%-9.7%-30.1%-11.9%沪深3002

核心提要u投资逻辑?国内涂胶显影设备龙头，浸没式机台持续签单。涂胶显影机是唯一与光刻机联机作业的芯片制造核心设备，我们测算，2025年全球涂胶显影设备市场空间预计为45亿美元，中国大陆涂胶显影设备市场空间预计为18亿美元，其中KrF及以下节点、ArFi、其他涂胶显影设备市场空间预计为9.4/6.0/2.7亿美元。目前中国大陆涂胶显影设备国产化率仅个位数，公司是国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，现已成功推出offline、I-line、KrF及ArF浸没式等多种型号设备，已陆续获得多个前道大客户订单及应用，2019-2023年公司光刻工序涂胶显影设备收入及销量CAGR分别为76%、48%，2022年12月公司发布第三代浸没式高产能涂胶显影机，全面覆盖国内28nm及以上所有光刻节点。近年日本政府加大半导体设备对华出口胶显影设备有望加速，公司作为国内涂胶显影设备龙头有望优先受益。，涂?布局化学清洗+先进封装设备，成长空间大幅提升。随着技术节点的进步和芯片结构的复杂化，清洗效果对产品最终良率的影响逐步加大，半导体清洗设备需求量有望持续提升。我们测算，2025年全球半导体清洗设备市场空间预计为60亿美元，中国大陆半导体清洗设备市场空间预计为24亿美元。公司物理清洗设备国内领先，现已成为国内逻辑、功率器件客户主力量产机型，近年积极布局前道化学清洗领域，叠加临时键合及解键合设备进入小批量销售阶段，有望打开长期成长空间。u投资建议：我们预计公司2024-2026年收入分别为22.75/29.93/38.42亿元，归母净利润分别为3.22/4.46/6.08亿元，对应EPS分别为1.61/2.23/3.04元，对应PE分别为38X/27X/20X，公司是涂胶显影设备先进封装设备打开长期成长空间。首次覆盖，给予“买入”评级。龙头，近年积极布局化学清洗、u风险提示：新品研制不及预期；产品验证不及预期；下游客户扩产进度不及预期；行业竞争加剧风险；市场空间测算偏差风险；研究报告使用的公开资料可能存在信息滞后或更新不及时的风险。3

1、涂胶显影设备先锋4

涂胶显影设备先锋u国内涂胶显影、单片湿法设备龙头，积极布局先进封装设备市场。2002年公司前身芯源半导体成立，2008年获批承担国家02重大专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”项目，2012年获批承担国家02重大专项“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”项目，2019年成功登陆，同年自研前道单晶圆清洗设备出厂进行工艺验证，2023年、2024年分别推出新品键合机、化学清洗机。公司是国内涂胶显影、单片式湿法设备龙头，是国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，现已形成前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备、化合物等小尺寸设备四大业务板块。图表1：公司发展历程图表2：公司四大业务板块及主要产品资料：公司招股说明书，公司官网，芯源微公众号，资料：公司公告国海证券研究所5

涂胶显影设备先锋u股权较为分散，现有三大生产基地。公司股权较为分散，并无控股股东和实际控制人，截至2024年8月16日，公司前三大股东为科发实业、沈阳先进制造科技和中科天盛，分别持股10.64%、9.52%、8.44%。根据公司2023年报，公司目前拥有沈阳飞云路、沈阳彩云路、上海临港三大生产基地，拥有上海芯源微、沈阳芯俐微、KingsemiKyoto3家全资子公司，拥有广州芯知1家控股子公司。图表3：股权结构（截至2024年8月16日）图表4：部分子公司（截至2024年8月16日）资料：iFinD，国海证券研究所资料：iFinD，公司公告，国海证券研究所6

涂胶显影设备先锋u受益+新品开拓，近年业绩持续高增。公司在LED芯片、后道先进封装等领域深耕多年，积极发力前道设备领域，持续丰富产品种类，2019-2023年营收CAGR达51.78%，归母净利润CAGR达53.64%；2024Q1营收2.44亿元，同比下降15.27%，归母净利润0.16亿元，同比下降75.73%。2023年公