《半导体光伏制造工艺尾气处理装置》征求意见稿.docx

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半导体光伏制造工艺尾气处理装置

1范围

本文件规定了半导体光伏制造工艺尾气处理装置的型号和命名、产品参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和使用说明书、包装、运输和贮存。

本文件适用于半导体光伏制造工艺尾气处理装置的生产和检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T1804—2000一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差

GB/T3768声学声压法测定噪声源声功率级和声能量级采用反射面上方包络测量面的简易法

GB/T6388运输包装收发货标志

GB/T9969工业产品使用说明书总则

GB/T10125人造气氛腐蚀试验盐雾试验GB/T13306标牌

GB/T13384机电产品包装通用技术条件

GB/T22360真空泵安全要求

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4型号和命名

装置型号由企业代号、功能特征、形状特征、进排气法兰特征以及特征代码组成。

特征代码：“B”标准款；“Z”增强款；“S”升级款

进排气法兰特征：CF、KF、ISO

形状特征：“D”筒型；“F”方型；“X”其他

功能特征：“LN”冷凝；“SL”速冷；“JR”加热；“XZ”旋振；

“GL”过滤；“XF”吸附；“C”碳钢材质

企业代号

示例1：企业代号为“XX”公司生产的腔体为筒型直径325、进排气口为ISO160、冷凝式半导体光伏制造工艺尾气处理装置增强款表示为：XXLN-D325-ISO160-Z。

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示例2：企业代号为“XX”公司生产的腔体为筒型直径325、进排气口为ISO100、加热式半导体光伏制造工艺尾气处理装置标准款表示为：XXJR-D325-ISO100-B/XXJR-D325-ISO100（无特征代码默认为标准款）。

5产品参数

5.1吸附滤芯丝径不应低于0.23mm，宜采用双层斜形压花波形丝网，使用304不锈钢材质。

5.2水路管件应采用316L不锈钢材质。

5.3水路阀门应采用常闭型气动隔膜阀，使用316L不锈钢材质。

5.4补水瓶宜使用邵氏硬度不低于95A的纯PVC管/棒材。补水系统分为手动补水系统和自动补水系统：

a)手动补水系统：补水瓶容积应不小于3.3L；

b)自动补水系统：补水瓶容积应不小于6L，应内置浮球式液位计；

5.5压缩空气气源应为0.4MPa～0.6MPa。

5.6所使用的材料应符合相关标准的规定。

6技术要求

6.1外观

6.1.1产品应符合本文件的要求，并按照经规定程序批准的工艺及技术文件制造。

6.1.2产品外观应光洁，无毛刺、棱角、损伤和明显划痕。

6.1.3产品外露加工面不应有磕碰、划伤及锈斑等缺陷。外露非加工表面不应有气孔、凸起、裂纹、凹陷和粗糙不平等明显缺陷。

6.1.4管路布置应整齐有序、固定牢靠，不应产生扭曲、折叠等现象。

6.1.5标识、标牌应清晰、固定牢靠，位置正确。

6.2尺寸偏差

产品几何尺寸、公差应符合图纸规定。未标注加工公差应符合GB/T1804—2020中m级的规定。

6.3焊接质量

焊接件焊接应牢固，焊缝应平整均匀，焊高应基本一致，不应有虚焊、漏焊、裂纹、咬边、气孔、夹渣等缺陷。

6.4装配质量

产品零部件应齐全、完整，装配牢固，连接可靠。活动部件应运动灵活，固定部件应无脱落现象，紧固件不应有锤伤、锈蚀，应紧固无松动，位置均匀。

6.5过滤效率

测定的过滤效率与生产企业规定值的负偏差不应超过5％。

6.6工作噪声

额定工况下，装置工作噪声不应超过60dB（A）。

6.7真空漏率

按7.7进行试验后，真空漏率不应大于5E-8Pa.L/S。

6.8耐腐蚀性能

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产品经盐雾试验后，金属防护层腐蚀面积不应超过金属防护层面积的30％；非金属材料应无明显泛白、膨胀、气泡、龟裂和麻坑等缺陷且无影响正常使用的损伤。

6.9安全要求

应符合GB/T22360的规定。

7试验方法

7.1外观

自然光线下，目测检查。

7.2尺寸偏差

使用符合精度要求的通用量具进行测量。

7.3焊接质量

目测检