多晶硅铸锭炉温度场与应力场数值模拟研究.docx

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2024-10-31 发布于广东
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多晶硅铸锭炉温度场与应力场的数值模拟研究

摘要

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多晶硅铸锭炉的温度场与应力场数值模拟研究

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论文题目：多晶硅铸锭炉温度场与应力场数值模拟研究

摘要

通过COMSOL模拟仿真软件对多晶硅铸锭炉进行了模拟探讨，提出了一种新的模拟方案，研究了其在结晶状态下的温度场以及应力场的一个分布情况，并在一定的程度上对铸锭炉进行了优化改进。因为热场作为铸锭炉的核心之一，它在多晶硅的一个定向凝固的过程中其溶体和固液界面的流动中都占据着重要地位。所以为了的得到更有效更有利于其结晶状态的条件，我们对铸锭炉进行了改进。在多晶硅铸锭炉的坩