有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共2页，可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
瘴用技术
太原科技2008年第12期可盛0圆圆@0匡@啪
文章编号：1006—4877(2008)12—0092—02
离子束辅助蒸发
对ZnS，MgF2及Al膜层性能的影响
王红萍，闰席珍
(太原光学仪器厂，山西太原030012)
摘要：通过实验数据证明了离子束辅助蒸发对ZnS，MgF。及Al膜层折射率、牢固度及环境耐受性的
影响，并简要分析了产生这些影响的原因。
关键词：离子束辅助；膜层；光学薄膜材料
中图分类号：0484．4文献标志码：A
1离子束辅助蒸发对膜层性能的影响蒸发的ZnS膜层有较高的折射率、强度及良好的耐
1．1ZnS和MgF膜层的镀制条件水、耐盐水浸泡能力，其中折射率和膜层强度两项
在不同的离子能量下用氩离子辅助蒸发了ZnS性能随离子束能量增加而增高，见表2。离子束辅
膜层，用氩离子和氧离子辅助蒸发了MgF膜层。助蒸发对ZnS膜层性能提高的原因与膜层微观结构
用不同离子能量的离子束辅助蒸发ZnS和MgF膜的变化有直接关系。离子束能量增高起到一个“锤
层的一组数据，见表1。击”的作用，使膜层结构变得平滑，因而膜层性能
表1样品镀制条件得到改善。
表2膜层折射率、牢固度及环境耐受性的测试结果
在离子束辅助情况下，MgF：膜层一方面结构
室温条件下，ZnS膜在各种条件下均呈多晶结变得致密。另一方面失氟现象随离子束能量增加而
构，随着离子束能量的增高，膜层表面变得越来越变得严重。由于这两方面因素的影响，膜层折射率
平滑，晶粒变得越来越细密。俄歇能谱分析表明膜增高，膜层强度明显提高，但相对而言，膜层耐
层成分在有无离子束辅助时无明显差异。室温下用水、耐盐水浸泡能力改善幅度不大，这与膜层的物
不同离子、不同能量的离子束辅助蒸发的MgF膜理性质有关。由于MgF膜层的失氟现象受离子束
层均为非晶状态，且膜层中观察不到聚集体。与能量影响较大。所以，应选择较低能量的离子束进
ZnS不同的是，膜层中F／Mg原子比减小，而0和行辅助蒸发，以避免失氟造成的短波吸收。
Ar原子的比例增大。1．3膜层性能的时效性。
1．2ZnS和MgF，膜层的测试结果离子束辅助蒸发对MgF膜层的性能有一定的
同无离子束辅助的ZnS膜层相比，离子束辅助时效性，其中以膜层强度最为明显。5至8号样品
存放6个月后的膜层强度，见表3。
收稿日期：2008—10—10；修回日期：2008一l1—10表3样品存放6个月后的膜层强度
作者简介：王红萍(1969～)，女，山西清徐人。1991年7月毕
业于西安工业大学，工程师。
·9．2·
应用技
太原科技2008年第12期凰0凹凰嗍岛@0匡@
将表3数据与表2数据比较，很显然，每个样离子束
文档评论（0）