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Semiconductor:半导体MFG(Manufacture):制造部?Wafer:晶片Boule:晶锭Ingot:晶棒Ascutwafer:毛片Particle:含尘量/微尘粒子Pod:晶盒Cassette:晶片夹CleanRoom:洁净室(Class100000以上)MO(MissOperation):误操作?ProcessEngineering:制程工程师,简称为P.E.简单称为制程。EquipmentEngineering:设备工程师,简称为E.E.简单称为设备。Recipe:程式PM(PreventionMaintenance):预防保养Alarm:警讯?OI(OperationInstruction):规定的标准的正确操作机台的方法的文件半导体专业词汇汇总11.

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