薄膜的生长过程和薄膜结构(共90张PPT).pptx

薄膜生长过程概述;薄膜生长过程概述;薄膜生长过程概述;薄膜生长过程概述;随着时间的推移，较大的核心将依靠吞并较小的核心而长大。

将上式应用于临界核心，即可求出临界核心的面密度

本征应力又常被称为生长应力，因为它与薄膜的制备方法及工艺过程密切相关，且随薄膜和衬底材料的不同而不同。

织构测定在材料研究中有重要作用。

一种有效的作法是在薄膜沉积的形核阶段大幅度地提高气相的过饱和度，以形成核心细小、致密连续的薄膜。

可以看出：实际上就相当于形核过程的能垒。

每个临界核心接受扩散原子的外表面积如图5－5所示，它等于围绕冠状核心一周的表面积。

从图可以看出，只要界面两侧的一部分原子获得了匹配，而且其