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工艺冷却水系统施工技术侯初目录1、工艺冷却水系统简介2、工艺冷却水系统的安装技术3.工艺冷却水系统的调试技术1.工艺冷却水系统简介1.1冷却水冷却水只是指将温度高的水降低温度后在进行重复利用的水。所有的液体和固体中，水的比热容最大，是优良的热交换介质，其次水的化学稳定性好，不易分解，水的热容量大，在常温范围内不会产生明显的膨胀或压缩，水的沸点较高，在通常使用条件下，在换热器中布置汽化，水的来源较广泛，流动性好，易于输送和分配，水的处理运行费用低。1.2工艺冷却水在半导体厂房中主要用于生产工艺设备的冷却,或称制程冷却水、工艺设备冷却水、简写:PCW。2.工艺冷却水系统的安装技术2.1系统概况工艺冷却水系统主要由三个环路组成:1)一次侧环路:高温水箱中的水由循环水泵提压，经热交换器冷却后进入低温水箱;2)二次侧环路:低温水箱中的水经循环水泵提压，过滤，由输水管线送到工艺设备进行热交换，交换后的高温水沿回水管线流回高温水箱；3)另一环路:为冷媒侧冷冻水供回水环路，经冷机制备的冷冻水经输水管路至交换器冷量交换后回到冷机侧；4)有的工艺水冷却水系统未设低温水箱,经热交换器交换后的低温水直接送入工艺设备;典型工艺冷却水系统图2.2冷却水水质工艺设备内的冷却管道有很多为管径很细的毛细管道,为避免毛细管道的结垢,对工艺冷却水的水质也提出了相应的要求；1）冷却水温度:20℃；（冷媒系统:13~18℃冷冻水系统）2）酸碱度(PH):6.5~8.0;3）最大粒径颗粒:≤0.03mm2;4）硬度:＜100ppm;5）电阻率:＞1KΩ?cm;6）总溶解固体(浊度):＜100ppm;2.3系统的主要构件工艺冷却水系统中一般包括水箱，水泵，过滤器，板式换热器，用水点，电气控制，温度传感器，压力传感器、RO补水装置，泄压阀，调压阀、阀门、止回阀及管道等；1）水泵:水泵须满足使用流量和扬程的要求，且体积小、重量轻、造价低，有良好的特性和较高的效率；良好的抗汽蚀性能，既能保证水泵运行平稳、寿命长，又能降低运行费用，工程投资少；水泵的本体采用不锈钢材质，可以很好避免对水质可能造成的污染，但是造价稍高；2）过滤器水过滤器或过滤装置的选择,除要考虑后续管路可能对水质的影响,还要兼顾考虑不同工艺设备水质要求的差异,因此,一般选择为两级过滤器；前端过滤器一般选用5um,99%过滤要求的不锈钢过滤器；末端过滤器选择根据末端工艺设备的水质要求确定；3）热交换器热交换器按其形式可分管壳式,板式,板翅式,热管式等,相比较而言,板式热交换器具有占地面积小,传热面积大的优点；考虑到半导体厂房空间面积造价特点,优选占地面积小的设备,工程造价相对会较低；选型要满足设计流量下的热交换量,并且在最大流量及压力时不能产生变形或振动,并符合一侧无压力时仍可承受最大操作压力；4）RO补水装置补水装置一般由补水管路,水箱液位计、电动阀组及其旁通管路组成,水箱水位过低时,液位计发出补水信号,电动阀开启,RO水进入水箱,水位达到预定位置时,液位计发出信号,电动阀关闭,补水结束；补水装置2.4自控系统PCW在半导体厂是个非常重要的系统,它出现故障会影响FAB内的大部分的机台设备,系统自动化程度高,对控制要求较高,主要包括对供水水温、供水压力、水质以及水泵的控制。1）供水水温的控制根据工艺设备对供水温度的需求,系统对供水温度要求控制在20℃,供水温度通过安装在输水管道上温度传感器采集,传输到PLC运算控制模块,控制冷冻水侧电动阀开启度调节冷冻水侧流量,从而控制板换冷量交换,使冷却水达到20℃的设计目标要求；2）供水电导率的控制控制供水电导率其实是间接反映对供水水质的控制,系统高温水箱补水采用RO水及超纯水,电阻率高于1.0KΩ?CM。当安装在高温水箱中的电导率测试仪检测到电导率不满足设定要求时,系统会将此信号传到PLC控制模块,PLC经运算控制超纯水补水管路上电动阀开启度确定补水量。另外为防止水箱中水与大气直接接触,影响水的电导