中职教育一年级上学期电子与信息《薄膜制备》教案 .pdf

微课教学设计

课题名称3.1薄膜制备所属课程微电子技术与器件制造

所属专业电子与信息技术授课教师

1.晶圆制造工艺

2.薄膜制备

识点3.认识氧化工艺

4.氧彳七工艺设备

学会理实一体化理解薄膜制备方法和薄膜制备工艺

会学掌握正确操作氧化工艺设备设备，设置相关设备

教学目标的常规参数。

乐学在学习薄膜制备的过程中，创设良好的教学情景

及小组合作学习氛围，增强团队合作意识。

重点晶圆制造工艺主要流程

教学重、

难点难点薄膜制备方法

教学方法任务驱动、教学做一体化

教学环节教师活动媒体设计时间

本项目从氧化工艺任务入本项日从其化工艺任务入手，先让同学们时

溥膜制工艺看一个初步了解；然焰详细介

铝溥膜制备、R化工艺等今业技能.通过氧

手，先让同学们对薄膜制备工艺化工艺设备的介储，让同学们地一罗了解晶

胃机堆以及溥膜制备帼关工艺.

有一个初步了解；然后详细介绍1分

课题引言薄膜制备、氧化工艺等专业技钟

能。通过氧化工艺设备的介绍，

让同学们进一步了解晶圆制造以

及薄膜制备相关工艺。

1.晶圆制造工艺22分

(1)硅片与晶圆钟

硅片半导体行业广泛使用的

基底材料，液们说制造芯片就像

盖房子一层一层往上修，硅片对

3J.1晶■聊造工艺

于芯片，相当于土地，所有的晶

1.

体管、布线都是在硅片之上完成X2制城i工予皿

教学内容

的，没有硅片就相当于空中楼

阁，无从谈起。

晶圆是指制作硅半导体电路

所用的硅晶片，其原始材料是

硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入

硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形

成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经

过研磨，抛光，切片后，形成硅

晶圆片，也就是晶圆。

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