中科飞测(688361)产品矩阵加速完善，国产化破局可期.docxVIP

目录

中科飞测：大陆量检测设备龙头，国产替代先锋 6

技术底蕴深厚，产品矩阵持续丰富 6

营收持续高增长，股权激励彰显增长信心 7

行业发展：晶圆制造核心环节，国产替代迫在眉睫 10

设备特点：芯片良率关键保障，产品类型繁杂多样 10

检测设备：发现缺陷，提升良率的“眼睛” 13

量测设备：标定误差，保证精度的“标尺” 18

国产替代：国内市场广阔，海内外厂商差距较大 20

业务进展：新产品落地顺利，头部客户批量应用 25

产品节奏：现有产品实现替代，新增产品验证顺利 25

研发实力：技术水平国内前沿，研发团队实力雄厚 28

盈利预测：订单持续增长，规模化效应逐步显现 30

风险提示 31

图表目录

图1：公司发展历程 6

图2：公司股权结构（截至2024年10月10日） 6

图3：公司营业收入高速增长 8

图4：检测设备业务占营收比重提升 8

图5：公司总体毛利率稳定提升 8

图6：公司期间费用率保持平稳 8

图7：公司归母净利润和净利率逐年改善 8

图8：公司核心人员均具备深厚的技术背景 9

图9：公司研发费用占比较高 9

图10：检测量测设备分类 10

图11：量检测设备可分为检测和量测设备 11

图12：图形晶圆主要缺陷类型 14

图13：图形晶圆检测设备原理示意图 14

图14：明场检测结果示意图 15

图15：明场检测设备原理示意图 15

图16：暗场检测结果示意图 15

图17：暗场检测设备原理示意图 15

图18：明场和暗场晶圆检测技术互补 16

图19：明场检测与暗场检测灵敏度和吞吐量不同 16

图20：无图晶圆检测设备原理示意图 16

图21：缺陷分析扫描电子显微镜应用流程 17

图22：电子束检测图像精度高于光学检测图像 17

图23：掩模版缺陷检测设备原理示意图 17

图24：应用于10nm以下的晶圆缺陷检测光学方法 18

图25：关键尺寸量测设备原理 19

图26：CD-SEM原理 19

图27：利用IBO技术的套刻偏移测量原理 20

图28：量检测设备在全部前道设备中占比超10% 20

图29：全球和中国大陆地区量检测设备市场规模高增 20

图30：2023年全球量检测设备市场格局 21

图31：KLA发展历程 23

图32：24H1主流设备厂商研发费用对比（单位：亿美元） 23

图33：KLA研发费用及费用率（单位：亿美元） 23

图34：KLA晶圆量检测设备梳理 24

图35：KLA分领域营收占比 25

图36：KLA分业务营收占比 25

图37：KLA毛利率和经营利润率 25

图38：KLA积压订单 25

图39：公司客户覆盖面 27

图40：公司产品布局及应用情况 27

图41：公司先进制程技术布局 29

图42：公司研发人员数量（单位：人） 30

图43：2023年研发人员人均薪酬对比（单位：亿元） 30

表1：公司量测/检测设备产品布局 7

表2：2024年公司股权激励方案 9

表3：检测量测设备细分领域市场规模 10

表4：过程控制设备应用工序 12

表5：光学检测、电子束检测和X光检测技术特点 13

表6：主要前道晶圆制造设备国产化率水平 21

表7：国内外各厂商产品布局 21

表8：公司产品与国际厂商产品对比 26

表9：公司产品中标情况 28

表10：公司技术储备情况 28

表11：公司专利数量稳步提升 30

表12：公司盈利预测 30

表13：公司盈利预测基准与悲观情形 31

中科飞测：大陆量检测设备龙头，自主开发先锋

技术底蕴深厚，产品矩阵持续丰富

中科飞测专注于高端半导体过程控制领域，主要产品包含检测设备和量测设备两大类半导体专业设备以及良率管理软件。公司于2014年在中科院微电子所孵化下成立，2017年公司主要产品无图形晶圆缺陷检测设备通过SMIC产线验证，2018年图形晶圆缺陷检测设备通过长电科技先进产线验证，2021年公司无图形晶圆缺陷检测设备通过国家科技重大专项验收，填补了国内高端半导体质量控制设备领域的空白，并成功于2023

年5月19日于科创板上市。现阶段公司产品覆盖纳米图形晶圆检测设备、无图晶圆检测设备、关键尺寸量测设备、三维形貌量测设备等共计九大类量检测设备产品，已能够覆盖28nm以下先进制程，主要客户包括SMIC、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路前道制程和先进封装知名客户。

图1：公司发展历程

资料来源：公司官网，

公司实控人为CHENLU（陈鲁）和哈承姝夫妇，二人合计