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MSA类电镀液体系性能优化的分子动力学模拟.pdf

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    摘要

    MSA类电镀液体系性能优化的分子动力学模拟

    摘要

    我国高技术产业的发展迅速，对先进制造技术有着殷切的需求。作为集成

    电路生产的核心工艺之一，电镀技术在实现纳米级精细加工中发挥着不可或缺

    的作用。近年来，采用甲基磺酸(MSA)为主要组分的电镀液得到了广泛关注和

    应用，其具有腐蚀性低、毒性小、安全性能高、镀液易回收等多重优势。从绿

    色发展的角度来看，MSA电镀技术显示出巨大潜力

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