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声表面波谐振器及其杂化器件的设计与制备.pdf

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    摘要

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    声表面波是一种在固体表面传播的弹性波，它损耗低，信息密度高，抗电磁

    干扰能力强。如今，基于声表面波的谐振器、传感器等各类器件体积小、重量轻，

    能够实现多种复杂的功能。在基础和应用研究方面，近年来基于声表面波的杂化

    器件引起研究人员的广泛关注。在传播过程中，声表面波可以在衬底表面诱导产

    生易于操控的位移场与电场，这意味着它可以与其他系统通过力学和电学机制发

    生相互作用。利用这些机制构筑的杂化体系有巨大的潜在应用价值，比如，在声

    表面波与纳

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