TS-与Veeco的反应室构造与气流模型课件.pptVIP

PowerSupplyUnit(8组电源)K465一共有8个电源箱,分别给Inner、Middle和Outer加热丝供电:InnerPowerSupply（40/250）（Inner加热丝较小）MiddleMasterPowerSupply(60/250)MiddleSlave1PowerSupply(60/250)MiddleSlave2PowerSupply(60/250)MiddleSlave3PowerSupply(60/250)（Middle加热丝较大）OuterMasterPowerSupply(60/250)OuterSlave1PowerSupply(60/250)OuterSlave2PowerSupply(60/250)●“60/250”表示电源能提供的最大电压和电流,即最大功率；●相同功率的电源箱可以互换；InnerMiddleOuter*冷阱和MO源源材料:MO源:TMGa、TEGa、TMAl、TMIN、CP2Mg载气:H2，N2特气:NH3，SiH4恒温槽温度:TMGa:液态，5°CTEGa:液态，25°CTMAl:液态，25°CTMIn:固态，30°CCp2Mg:固态,30°C恒温槽*ROBOT与叉子*K465/K465i系统介绍主体结构介绍反应室介绍和对比气路部分介绍和对比控制部分介绍加热部分介绍*K465反应室介绍反应室冷却水管chiller循环水,灰进黄出厂务循环水,黑进红出里中外三个RTshutterMainHydrideAlkylMiddle加热丝的电极*反应室立体剖面图*反应室基座和加热丝Outer加热丝Middle加热丝镍支架Inner加热丝Spindle耐高温陶瓷反应室基座****K465反应室顶盖Alkyl/III族Hydride/V族*CenterpurgeHydrideAlkyl****盖子内部结构*K465I反应室的改进红线为AKL带MO源,绿线为HYD不带MO源,两者互相交叉*K465/K465i系统的特点反应室腔体大石墨盘离上盖距离很大要求气体量很大,且进入反应室流速要很快高速旋转（1200转每分钟）整体的利用率偏低*K465/K465i系统介绍主体结构介绍反应室介绍和对比气路部分介绍和对比控制部分介绍加热部分介绍*K465/K465i气路简介AKL(带MO源的气体)K4655路（innerinn-midmiddlemid-outouter)K465i1路HYD（不带MO源的气体）K46510路（5路N2的PUSH,5路H2的PUSH）K465i1路K465i的气路设计优于K465,主要是为了改善产品均匀性的问题,但K465i上盖的内部结构更复杂*K465/K465i气路简介做NH3的载气,HYD气路做SIH4的载气,进AKL气路吹扫气体,走HYD气路走RUN/VENT,走AKL气路做MO源的载气,走AKL气路*K465/K465i气路简介MFC流量控制器PC压力控制器气动阀控制气路的流通和关闭*K465/K465i气路对比K465前端MFCK465i前端MFC*K465/K465i气路简介尾端部分的气路结构两个机台基本一致。反应室——球阀——过滤器——蝶阀——器械泵——尾气处理球阀*K465I简单气路图*K465/K465i系统介绍主体结构介绍反应室介绍和对比气路部分介绍和对比控制部分介绍加热部分介绍*******************TS与VEECO反应室构造与气流模型*提纲TS31片机的介绍VEECOK465/K465i系统介绍主体结构介绍反应室介绍和对比气路部分介绍和对比控制部分介绍加热部分介绍**CCS系统介绍****TS反应室结构ThermocoupleH.DoubleO-ringsealTungstenheaterI.SusceptorGasinletJ.WatercooledchamberShowerheadK.QuartzlinerReactorlid