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Process Control软件：Lam Research二次开发_（1）.LamResearch过程控制软件概述.docx

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    LamResearch过程控制软件概述

    1.引言

    LamResearch是一家全球领先的半导体设备制造商，其过程控制软件在半导体制造工艺中扮演着至关重要的角色。这些软件不仅用于监控和控制各种工艺参数，还用于优化生产效率和提高产品质量。本节将介绍LamResearch过程控制软件的基本概念、体系结构和主要功能，帮助读者理解其在半导体制造中的应用。

    2.过程控制软件的基本概念

    过程控制软件（ProcessControlSoftware）是一种用于管理、监控和控制系统中各个工艺参数的软件。在半导体制造中，这些参数包括温度、压力、气体流量、功率

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