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FAB软件：Tokyo Electron二次开发_（1）.TokyoElectronFAB软件概述.docx

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    TokyoElectronFAB软件概述

    1.FAB软件的定义与应用

    FAB软件（FactoryAutomationandBatchcontrolsoftware）是指用于半导体制造工厂自动化和批量控制的软件系统。在半导体制造业中，FAB软件扮演着至关重要的角色，它不仅能够提高生产效率，还能确保产品质量的一致性和可靠性。TokyoElectron有限公司（TEL）是一家全球领先的半导体生产设备制造商，其FAB软件系统广泛应用于各种半导体制造工艺中，包括光刻、蚀刻、沉积等。

    1.1FAB软件的功能

    FAB软件的主要功能包括：

    生产计划与调度

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