Process Control软件：KLA-Tencor二次开发_（1）.KLA-Tencor二次开发概述.docx

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KLA-Tencor二次开发概述

1.KLA-Tencor简介

KLA-Tencor是一家全球领先的半导体设备和工艺控制解决方案提供商。KLA-Tencor的产品广泛应用于半导体制造、LED、数据存储、显示和光伏等行业。其工艺控制软件主要用于监测和控制制造过程中的各种参数，确保产品质量和生产效率。

1.1KLA-Tencor的主要产品

KLA-Tencor提供多种工艺控制设备和软件，包括但不限于：

光学检测设备：用于检测晶圆表面的缺陷和特征。

电子束检测设备：用于高分辨率的缺陷检测和分析。

膜厚测量设备：用于测量薄膜的厚度和特性。

表面形貌测量