深紫外非线性晶体KBe-2BO-3F-2的光学倍频特性.pdfVIP

第22卷第6期军械工程学院学报Vo1．22NO．6

2010年12月JournalofOrdnanceEngineeringCollegeDec．2010

文章编号2010)060067～05

深紫外非线性晶体KBe2BO3F2的光学倍频特性

宋春荣，赵建君，刘进

(军械工程学院基础部，河北石家庄050003)

摘要：通过理论模拟计算详细分析了KBeBO。F。(KBBF)晶体的光学倍频特性，得到了Nd：YVO激光6倍频输

出的深紫外激光光源(177．3nm)的相关技术参数。结果对于KBBF晶体用于产生深紫外全固态激光(DPI)的实

验研究提供了重要的理论依据。

关键词：KBBF晶体；倍频特性；深紫外光源

中图分类号：0437文献标识码：A

OpticalPropertiesbySecondHarmonicGeneration

forDeep—UltravioletNonlinearKBe2BO3Fz

SONGChun—Rong，ZHAOJian—jun，LIUJin

(DepartmentofBasicCourses，OrdnanceEngineeringCollege，Shijazhuang050003，China)

Abstract：InthispaperthepropertiesofthefrequencydoublinginKBe2BO3F2(KBBF)arestudied

withelaborateanalysis，andwehaveobtainedthetechnicalparameterofDUV177．3nmradiation

bymeansofSHGfromafrequency—tripledNd：YVO4laserinKBBF．Theseresultsareveryuseful

inDUV—DPIexperimentalstudies．

Keywords：KBBFcrystal；SHGproperties；DUVlaser

深紫外相干光源在许多高技术领域有着十分重是153nm，并且可在200nm以下的深紫外波段实

要的应用，如新一代的集成电路光刻技术、光电子能现相位匹配，是目前直接倍频匹配波长最短的晶体，

谱、光谱技术、激光精密机械加工、激光医疗以及化也是唯一能用SHG法发展的DUV—DPL晶体。

学动力学等¨_3_，开发DUV激光源成为激光技术的陈创天项目组已研制出2Omm×10mm×3．71Tim

重要发展方向。准分子激光器虽平均功率高，但光全透明的KBBF单晶；利用棱镜耦合技术，在国际

束质量差、波段范围窄、调谐困难、不能研究超快过上首次实现了Nd：YVO激光的谐波光177．3nm

程，且多含有有毒气体；自由电子激光器虽调谐波段的输出[5-7]。笔者对于KBBF晶体的倍频特性进行

宽、输出功率大，但目前技术尚不成熟，造价高]。了研究，计算了KBBF晶体的折射率、群速指数、相

全固态激光具有体积小、寿命长、效率高、光束质量位匹配角、有效非线性系数、允许参量等，分析得到

好、宽调谐、窄谱线等优点，易实现实用化和精密化。了Nd：YV0激光6倍频输出的深紫外激光光源

利用高功率近红外DPI为基频光源的非线性调谐(177．3nm)的相关技术参数。结果对于KBBF晶

技术，通过多级变频产生DUV相干辐射，被视为发体产生深紫外激光输出提供了理论依据和指导。

展DUV—DP