原子层镀膜设备.pdf

ICS25.010

CCSJ70

CASME

团体标准

T/CASMEXXXX—2024

原子层镀膜设备

Atomiclayerdepositionequipment

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

2024-XX-XX发布2024-XX-XX实施

  发布

T/CASMEXXXX—2024

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4基本参数1

5技术要求2

6试验方法3

7检验规则4

8标志、包装、运输和贮存5

I

T/CASMEXXXX—2024

原子层镀膜设备

1范围

本文件规定了原子层镀膜设备的术语和定义、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、

包装、运输和贮存内容。

本文件适用于原子层镀膜设备。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

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installations-Part4-43：Protectionfo