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摘要
角度测量在工业测控、航空航天、安防监测等领域应用广泛。各个领域技术的
飞速发展对角位移编码器测量性能也提出了更高的要求。不仅要求其兼顾小型化与
高分辨力,同时还需具备良好的抗震动冲击性能。与常用的光栅式角位移编码器相
比,电容式角位移编码器具有易实现小型化、重量轻、响应速度快、抗震动冲击能
力强等优点。因此本文结合旋转光场实现角位移测量的思路,研究设计了基于旋转
电场的小型电容式角位移编码器,可实现测量兼具小型化与高精度高分辨力的优异
性能。
在参考国内外相关文献的基础上,本文对
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