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基于飞秒激光的碳化硅光电器件制备及应用研究.pdf

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    摘要

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    碳化硅作为第三代半导体，具有高热稳定性、高电子饱和漂移速度、高击

    电压等优点，这些优良特性使其能够在高频、高压器件中表现优异。同时，由

    于其在高温环境下表现出色，具有较高的热稳定性和化学稳定性，通常被广泛

    应用在高温、高压和腐蚀等恶劣环境中。另外，碳化硅具有优秀的光电特性，

    对紫外光有很强的响应程度，被大量制作为紫外光电探测器。在未来器件走向

    小型化、集成化、高频化的趋势下，碳化硅是一种极有潜力和应用前景的半

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