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基于飞秒激光直写的三维波导纵向耦合特性研究.pdf

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    摘要

    摘要

    基于飞秒激光直写的三维波导纵向耦合特性研究

    飞秒激光直写技术是一种新兴的精密加工技术，具有高精度、材料适用范围

    广、非热性以及真三维加工等优点，目前已被广泛应用于各类集成光子器件的制

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