微小型石英增强光声光谱气体检测仪的研制.pdf

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摘要

痕量气体检测在农业安全、工业生产、医学诊断等领域具有重要意义。针对

具有爆炸性、有毒有害性的气体,更需要对其进行长期稳定的监测。相较于固

体传感器,基于红外吸收光谱的光学气体传感器以其灵敏度高、零漂小、非接

触测量等优势被广泛使用。随着物联网和便携式设备的发展,对红外传感器的

微型化和集成化要求越来越高。体积小、功耗低、度集成高的红外传感器设计

有助于推动其在各个领域的大规模应用。本文采用体积为8mm×ϕ3mm的商用

标准石英音叉作为探测单元,研制了尺寸仅为5.4×4.0×1.5cm3的光声

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