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摘要
摘要
基于微机电系统(Micro.Electro.Mechanical
System,MEMS)金属氧化物半
导体(MetalOxide
品安全和空气质量监测等方面得到了广泛的应用,受到越来越多研究者的关注。
控制芯片在该系统中主要负责系统控制以及与外界进行通信。MEMSMOS气体
传感器具有交叉敏感特性,导致选择性差,难以实现对混合气体的定性识别。在
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