电子显微技术.ppt

单晶，多晶与非晶的比较使用电镜的电子衍射功能可以判断样品的结晶状态：单晶为排列完好的点阵。多晶为一组序列直径的同心环。非晶为一对称的球形。第32页,共57页，星期六，2024年，6月电子晶片电子衍射电子波动性与统计规律的联系第33页,共57页，星期六，2024年，6月单晶，多晶与非晶的电子衍射图第34页,共57页，星期六，2024年，6月一些样品的电镜照片高分子球碳棒MCM41第35页,共57页，星期六，2024年，6月一些样品的电镜照片Ni晶粒催化剂表面Co颗粒第36页,共57页，星期六，2024年，6月不同温度下TiO2晶粒生长的情况第37页,共57页，星期六，2024年，6月纤维，角形和花状的电镜照片第38页,共57页，星期六，2024年，6月球表面的Au，氧化镧，Fe2O3第39页,共57页，星期六，2024年，6月Zn粒，Al2O3，单壁碳管第40页,共57页，星期六，2024年，6月高分子网，晶体层面，纳米球第41页,共57页，星期六，2024年，6月局部的单晶，晶粒的生长，晶体棒与颗粒第42页,共57页，星期六，2024年，6月氧化膜，碳管组装，银粒生长第43页,共57页，星期六，2024年，6月样品表面的凹凸形态和附着物第44页,共57页，星期六，2024年，6月晶体颗粒，，电子衍射第45页,共57页，星期六，2024年，6月硅的晶格排布第46页,共57页，星期六，2024年，6月金刚石的晶格排布第47页,共57页，星期六，2024年，6月TECNAI-20拍的AU单晶膜第48页,共57页，星期六，2024年，6月含有表面活性剂的硫化物第49页,共57页，星期六，2024年，6月6.4.8电镜使用中的一些问题放大倍数不是越大越好。要搞清你做电镜分析的目的。不是什么样品都能达到分辨率的指标。要获得高质量的电镜照片，样品制备是一个重要的因素。好的设备，加上适当的样品处理和精心的操作才能得到高水平的电镜分析结果。第50页,共57页，星期六，2024年，6月6.4.9样品制备要求：（1）供TEM分析的样品必须对电子束是透明的，通常样品观察区域的厚度以控制在约100~200nm为宜。（2）样品具有代表性以能真实反映所分析材料的某些特征。第51页,共57页，星期六，2024年，6月透射电镜的制样目的制样目的：就是要使样品做的很薄，以利于电子束的穿过。制样方法：可以是粉碎；切片；研磨；减薄；分散等等。制样使用的设备有：超薄切片机；离子减薄仪等等。第52页,共57页，星期六，2024年，6月超薄切片机第53页,共57页，星期六，2024年，6月无机粉末样品的制备要求首先，样品的粒度要足够的小，例如在100纳米以下。如果有团聚较大的颗粒，要适当的做研磨处理。一般将粉末样品置于无水乙醇之中，使用超声波将其充分分散，然后再滴到微筛膜上，自然凉干后就可用于电镜分析了。第54页,共57页，星期六，2024年，6月总结透射电子显微镜主要组成部分是照明系统、成像系统和观察记录系统。成像系统中的物镜是显微镜的核心，它的分辨率就是显微镜的分辨率。成像系统可以实现两种成像操作：一种是将物镜的像放大成像，即试样形貌观察；另一种是将物镜背焦面的衍射花样放大成像，即电子衍射分析。第55页,共57页，星期六，2024年，6月总结样品台是透射电子显微镜的重要附件之一，它可以实现样品的平移、倾斜和转动操作从而便于样品的观察分析；高温台、低温台和拉伸台等可以进一步扩大透射电子显微镜的功能。光阑在透射电子显微镜的光路中是用来限制电子束的发散角。第56页,共57页，星期六，2024年，6月感谢大家观看第57页,共57页，星期六，2024年，6月关于电子显微技术6.4透射电镜的结构通常透射电镜组成电子光学系统、电源系统、真空系统、循环冷却系统和控制系统其中电子光学系统是电镜的主要组成部分。6.4电子显微技术—TEM第2页,共57页，星期六，2024年，6月透射电镜的结构透射电镜电子光学系统是一种积木式结构，上面是照明系统、中间是成像系统、下面是观察与记录系统。第3页,共57页，星期六，2024年，6月透射电子显微镜工作原理及构造图透射电子显微镜光路原理图第4页,共57页，星期六，2024年，6月6.4.1照明系统照明系统主要由电子枪和聚光镜组成。电子枪是发射电子的照明光源。聚光镜：把电子枪发射出来的电子会聚而成的交叉点,进一步会聚后