旋涂碳硬掩模，全球前7强生产商排名及市场份额（by QYResearch）.pdf

全球市场研究报告

SOH（旋涂硬掩模）是一种涂在光刻胶底部的膜，在后续蚀刻过程中起到屏障的作用。SOH有助于将电路

转移到所需的膜上，从而提高微图案的精度。

硬掩模材料用于半导体制造，以防止图案坍塌。太厚的光刻胶会导致图案破裂，但太薄的光刻胶无法充分保

护基板。因此，需要硬掩模来转移光刻胶图案。

当SOH通过旋涂设备放置在硅晶片顶部时，会形成硬掩模层。然后将光刻胶(PR)涂在这些层的顶部。曝

光过程后，这些层将经过蚀刻过程。然后经过灰化过程，去除层上的任何残留物，形成最终图案。

如果厚厚地涂上PR并在没有任何硬掩模的情况下曝光，精细图案很容易因表面积和纵横比(AR)大而坍

塌。然而，如果光刻胶较薄，在蚀刻过程中雕刻硅片层时，可以制作出理想的图案。这就是添加硬掩模层的

原因。由于在形成最终图案后，由于蚀刻过程，硬掩模层被完全雕刻和去除，因此它们也称为牺牲层。

以前，硬掩模基于CVD工艺，但最近，旋涂方法（液体型涂层）已逐渐流行。当化学蒸汽中的颗粒在硬掩

模内部形成时，CVD硬掩模会导致缺陷。此外，由于CVD机器价格昂贵，该工艺需要大量的初始投资和

维护成本。

另一方面，SOH具有几个优点：1)由于它们可以使用传统的涂层设备形成，因此不需要额外的设施投资。

2)由于SOH在涂层过程中呈液态，因此它们可产生更均匀的表面。3)SOH相对容易操作，因此可以快速

适应工艺变化。

据QYResearch调研团队必威体育精装版报告“全球旋涂硬掩模市场报告2024-2030”显示，预计2030年全球旋涂硬

掩模市场规模将达到16.6亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为10.1%。

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图.旋涂硬掩模，全球市场总体规模

GlobalMarketSize($Mn)

201920242030

来源：QYResearch化工与材料研究中心

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图.全球旋涂硬掩模市场前7强生产商排名及市场占有率（基于2023年调研数据；目前必威体育精装版数据以本

公司必威体育精装版调研数据为准）

全球市场主要企业排名

SamsungSDI

MerckGroup

JSR

BrewerScience

YCCHEM

Shin-EtsuMicroSi

Nano-C

来源：QYResearch化工与材料研究中心。行业处于不断变动之中，必威体育精装版数据请联系QYResearch咨询。

根据QYResearch头部企业研究中心调研，全球范围内旋涂硬掩模生产商主要包括SamsungSDI、Merck

Group、JSR、BrewerScience、YCCHEM等。2023年，全球前五大厂商占有大约66.0%的市场份额。

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图.旋涂硬掩模，全球市场规模，按产品类型细分

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SpinonCarbonHardmasks(SOC)SpinonMetalOxideHardmasks(MHM)Others

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