干式螺杆与罗茨真空泵，全球7大生产商排名及市场份额（by QYResearch）.pdf

全球市场研究报告

干式螺杆与罗茨真空泵市场调研报告

真空干泵是一种用于抽取气体或液体的设备，在真空技术领域得到广泛应用。它通过旋转机械装置产生的

离心力来实现气体或液体的抽取。具体而言，真空干泵利用旋转转子的离心力将气体或液体从进口处吸入，

然后通过排气口将其排出，从而形成真空环境。

真空干泵通常由驱动装置、旋转装置和泵腔组成。驱动装置通常是电动机，用于提供能量驱动旋转装置的运

动。旋转装置通常是旋转轴和叶轮，通过旋转的运动产生高速离心力。泵腔是真空干泵的主要工作部分，气

体或液体在泵腔内受到离心力的作用被抽取出来。

干式螺杆真空泵是一种无油、无润滑剂的真空泵，它由一个主螺杆和一个从螺杆组成，通过它们的螺纹啮合

实现气体的压缩和抽气。当主螺杆和从螺杆旋转时，气体被从进气端吸入，然后在螺纹间的压缩腔体内被压

缩并排出到排气端。螺杆真空泵广泛应用于需要高真空度和无油污染的领域。

干式罗茨真空泵是一种无油、无润滑剂的真空泵，它采用两个相互啮合的罗茨旋叶轮，在罗茨腔内产生压缩

和抽气的作用。它通过旋转叶轮的运动，将气体从低压区域抽入罗茨腔，然后通过叶轮的运动将气体压缩，

并排出到高压区域。罗茨真空泵因无需润滑剂而适用于高纯度、无污染的应用领域。

在半导体产品的制造工艺流程中，对真空系统的性能提出了极高要求，特别是需要有效清除包括腐蚀性气

体、微细粉尘及有害气体在内的多种杂质。这一严苛标准超出了传统油封式机械泵的能力范畴，促使业界寻

求更为先进的解决方案。正是在这样的背景下，干式真空泵技术应运而生，并且在20世纪80年代正式登

上历史舞台。随着下游产业如集成电路制造、光伏领域、以及显示技术（ED）的蓬勃进展，干泵技术不仅

种类日益丰富，其在抽速、清洁度、集成控制等方面亦实现了长足的进步与优化。时至今日，干式真空泵凭

借其优越性能已成为发达国家半导体制造业不可或缺的装备，全面取代了旧有的油封泵系统。中国作为后

起之秀，在半导体产业升级的推动下，也明显展现出向干泵转型的趋势，尤其在高端半导体制造环节，干式

真空泵的应用已蔚然成风，标志着我国在这一关键技术领域的革新与国际接轨的步伐正在加快。

在该行业，主要参与者包括：AtlasCopco、荏原制作所、PfeifferVacuum、Busch、上海汉钟精机股份和

Agilent等，生产商高度集中。大多数生厂商全方位布局产品类型，生产多种类型产品，小部分小型厂商专

注于某一或某两类产品。中国市场上，近年来产品需求由国外满足，但随着国内产品的技术创新与产能扩

建，我们预测中国本土品牌将逐步扩大其市场份额。

据QYResearch调研团队必威体育精装版报告“全球干式螺杆与罗茨真空泵市场报告2024-2030”显示，预计2030年

全球干式螺杆与罗茨真空泵市场规模将达到26.4亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为8.0%。

Copyright©QYResearch|market@|

全球市场研究报告

图.干式螺杆与罗茨真空泵，全球市场总体规模

来源：QYResearch机械研究中心

Copyright©QYResearch|market@|

全球市场研究报告

图.全球干式螺杆与罗茨真空泵市场7大生产商排名及市场占有率（基于2023年调研数据；目前必威体育精装版

数据以本公司必威体育精装版调研数据为准）

来源：QYResearch机械研究中心。行业处于不断变动之中，必威体育精装版数据请联系QYResearch咨询。

根据QYResearch头部企业研究中心调研，G90全球范围内干式螺杆与罗茨真空泵生产商主要包括Atlas、

汉钟、通嘉等。2023年，全球前三大厂商占有大约40.0%的市场份额。

Copyright©QYResearch|market@|

全球市场研究报告

图.干式螺杆与罗茨真空泵，全球市场规模，按产品类型细分

来源：QYResearch机械研究中心

就产品类型而言，目前干式螺杆真空泵是最主要的细分产品，占据大约83%的份额。

Copyright©QYResearch|market@|

全球市场研究报告

图.干式螺杆与罗茨真空泵，全球市场规模，按应用细分，半导体是最大的下游市场，占有43%份额。

来源：QYResearch机械