中职教育一年级上学期电子与信息《薄膜制备》教学课件 .pdf

3J株膜剂备

引言/INTRODUCTION

本项目从氧化工艺任务入手，先让同学们对

薄膜制备工艺有一初步了解；然后详细介

绍薄膜制备、氧化工艺等专业技能。通过氧

化工艺设备的介绍，让同学们进一步了解晶

圆制造以及薄膜制备相关工艺。

#腹剂各

PART01晶圆制造工艺

PART02薄膜制备

PART03认识氧化工艺

PART04氧化工艺设备

3A株腹剂备

3.1.1晶圆制造工艺

知识目标

1.掌握晶圆制造流程

2.掌握晶园制造各工艺环节的原理

制造工艺

晶圆

硅片

3.1.1晶圆制造工艺

晶制造工艺流程

PR_

Initialom

SIsubstrate

薄膜制备光刻

PR

Iniox

Sisub

金屈化掺杂刻蚀

.

3.1.1晶圆制造工艺

2-光刻■■光刻工艺原理

Mask

PR

Siwafer

Siwafer

Siwafer

^^^Mask

Siwafer

SiwaferSiwafer

3.1.1晶圆制造工艺

3.刻蚀

刻蚀后世下的薄膜

未经刻蚀的衬底