P型Bi-Sb-Te薄膜沉积衬底与热电性能关系的探究.docx

【摘要】

随着纳米技术的发展进步，人们发现可以通过降维的方式在热电材料的费米能级附近增加状态密度，增强其声子散射等一系列优点，从而提升材料的塞贝克系数并大大降低热导率，达到提升热电材料ZT值的目的。Bi1.5Sb0,

5Te3热电薄膜属于非常典型的二维材料，能有效的提升Bi1.5Sb0.5Te3材料的热电性能。本文通过使用直流磁控溅射法在K9玻璃基底，PI基底，ALN基底上，以不同的溅射速率制备了不同的Bi1.5Sb0.5Te3热电薄膜。较为系统分析了所制备的Bi1.5Sb0.5Te3热电薄膜的形貌结构、组成成分、热电性能等，探索了制备过程中氩气流速对所形成Bi1.

5Sb0.5Te3热