《双主轴晶圆划片机用多丝母组件 技术要求》.pdf

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ICS25.060.99

CCSJ51

T/CASME

中国中小商业企业协会团体标准

T/CASMEXXX—2024

双主轴晶圆划片机用多丝母组件

技术要求

Multi-wiremasterelementfordual-spindlewaferscribingmachines

2024-XX-XX发布2024-XX-XX实施

中国中小商业企业协会 发布

T/CASMEXXX—2024

双主轴晶圆划片机用多丝母组件技术要求

1范围

本文件规定了双主轴晶圆划片机用多丝母组件的术语和定义,分类与标记,材料和热处理,制造要

求,检验方法,标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于双主轴晶圆划片机用多丝母组件的制造。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,

仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本

文件。

GB/T230金属材料洛氏硬度试验

GB/T5617钢的感应淬火或火焰淬火后有效硬化层深度的测定

GB/T6060.3表面粗糙度比较样块第3部分:电火花、抛(喷)丸、喷砂、研磨、锉、抛光加工表面

GB/T17587.3-2017滚珠丝杠副第3部分:验收条件和验收检验

GB/T191包装储运图示标志

JB/T3207机床附件产品包装通用技术条件

3术语和定义

双主轴晶圆划片机用多丝母组件Multi-wiremasterelementfordual-spindlewaferscribingmachines

双主轴晶圆划片机用多丝母组件将多丝母的旋转运动转化为滚珠丝杠或多丝母自身的的直线运动,

具备对轴承和多丝母的润滑、防尘、预紧等功能,由多丝母、回转支承部件组合成的组件。

其组成如图1所示:

3

T/CASMEXXX—2024

图1多丝母组件

4分类与标记

分类

4.1.1多丝母组件按其预紧方式不同分为:

a)垫片预紧方式(用DP表示);

b)螺纹预紧方式(用LW表示);

4.1.2多丝母组件按公称直径尺寸可分为(mm):10、20、30、50、63、80…(用数字表示)。

4.1.3多丝母组件按公称导程可分为(mm):5、10、16、20、25、32…(用数字表示)。

4.1.4多丝母组件按其旋向不同分为:

a)左旋(用L表示);

b)右旋(用R表示)。

4.1.5多丝母组件按其负载滚珠圈数分为:2、3、4、5、6…(用数字表示)。

4.1.6多丝母组件按其类型不同分为:

a)定位型(用D表示);

b)传动型(用C表示)。

4.1.7多丝母组件按其精度等级不同分为:3、4、5、7、10,用数字表示。

4

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标记

多丝母组件型号标记方式表示如下:

XJ□□□□-□-□-□

精度等级代号

类型

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