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ICS25.060.99
CCSJ51
T/CASME
中国中小商业企业协会团体标准
T/CASMEXXX—2024
双主轴晶圆划片机用多丝母组件
技术要求
Multi-wiremasterelementfordual-spindlewaferscribingmachines
2024-XX-XX发布2024-XX-XX实施
中国中小商业企业协会 发布
T/CASMEXXX—2024
双主轴晶圆划片机用多丝母组件技术要求
1范围
本文件规定了双主轴晶圆划片机用多丝母组件的术语和定义,分类与标记,材料和热处理,制造要
求,检验方法,标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于双主轴晶圆划片机用多丝母组件的制造。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,
仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本
文件。
GB/T230金属材料洛氏硬度试验
GB/T5617钢的感应淬火或火焰淬火后有效硬化层深度的测定
GB/T6060.3表面粗糙度比较样块第3部分:电火花、抛(喷)丸、喷砂、研磨、锉、抛光加工表面
GB/T17587.3-2017滚珠丝杠副第3部分:验收条件和验收检验
GB/T191包装储运图示标志
JB/T3207机床附件产品包装通用技术条件
3术语和定义
双主轴晶圆划片机用多丝母组件Multi-wiremasterelementfordual-spindlewaferscribingmachines
双主轴晶圆划片机用多丝母组件将多丝母的旋转运动转化为滚珠丝杠或多丝母自身的的直线运动,
具备对轴承和多丝母的润滑、防尘、预紧等功能,由多丝母、回转支承部件组合成的组件。
其组成如图1所示:
3
T/CASMEXXX—2024
图1多丝母组件
4分类与标记
分类
4.1.1多丝母组件按其预紧方式不同分为:
a)垫片预紧方式(用DP表示);
b)螺纹预紧方式(用LW表示);
4.1.2多丝母组件按公称直径尺寸可分为(mm):10、20、30、50、63、80…(用数字表示)。
4.1.3多丝母组件按公称导程可分为(mm):5、10、16、20、25、32…(用数字表示)。
4.1.4多丝母组件按其旋向不同分为:
a)左旋(用L表示);
b)右旋(用R表示)。
4.1.5多丝母组件按其负载滚珠圈数分为:2、3、4、5、6…(用数字表示)。
4.1.6多丝母组件按其类型不同分为:
a)定位型(用D表示);
b)传动型(用C表示)。
4.1.7多丝母组件按其精度等级不同分为:3、4、5、7、10,用数字表示。
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标记
多丝母组件型号标记方式表示如下:
XJ□□□□-□-□-□
精度等级代号
类型
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