制程排气完整版本.pptxVIP

半导体制程排气

;半导体废气处理技术应用;一般排气系统（GEX）;三、排放方式

设备生产过程中会产生热量或产生一些含尘无害气体（浓度很低），因此GEX可以直接排放到大气环境当中，不需做任何处理；

四、流程：

1.一次配（主管路铺设及风机安装定位）2.二次配（支管连接各机台点）

;主系统;主系统;二次配;管阀件;曝光机设备排风;酸性、碱性废气处理系统（SEX、AEX）;对于含有酸性／碱性物质的废气，半导体厂大都采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理。由于半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远，因此部分酸性／碱性废气在输送至中央废气处理系统前，常因气体特性导致在管路中结晶或粉尘堆积，造成管路堵塞后导致气体泄，严重者甚至引发爆炸，危害现场工作人员的工作安全。因此在工作区域需配置适合制程气体特性的就地废气处理设备进行就地处理之后再排人中央处理系统，;中央废气处理系统的核心设备是一种采用水洗式的

洗涤塔它的主要功能是通过控制洗涤塔中水的酸碱

度、电导度等参数，在废气与水交叉流过时使废气

在洗涤塔中与水进行充分接触，吸收其中的酸性或

碱性物质_2J。洗涤塔内安装有填料床，用于增大

废气与水的接触面积，延长接触时间。填料床下面

是循环水池，通过循环水泵使液体不停的循环。还

设有加药泵、pH计用于控制pH值；液位计、电导

度计用于排水和补水控制；压差开关、压力传感器

用于监控系统的运行情况_3J。

;通过调整酸性排气洗涤塔循环水的pH值发现，淋

洗塔内的物理吸收是一个不稳定的可逆，吸收水中

的酸，并在淋洗过程中很容易再被脱附出来。当

pH低于7．6时，即使将循环水的电导度调至低于

5mS／cm，系统的处理效率仍然不超过60％；而

当pH值高于8时，系统处理效率通常高于90％；当

pH值达到10时，系统处理效率甚至超过99％。因

此控制pH值是保证系统处理效率的关键参数。虽

然酸性排气洗涤塔，pH值越高处理效率越好，但

实际运行中pH过高会增加运行成本，并会产生结晶

等问题，危及生产安全，因此pH值通常控制在8～lO

。同样，对于碱性排气洗涤塔，pH值通常控制在3～6。;在系统实际操作运行中发现，影响系统处理效率

的另一个主要因素是循环水量的问题。洗涤塔在

连续运转一定时期后(一般为6个月)开始出现处

理效率下降，即使调高pH值也收效甚微，原因

在于洗涤塔循环水中的盐类很容易在喷嘴处形

成结晶，造成堵塞，使循环水量下降，而水量不

足使得废气和水不能充分接触，因而影响系统的

处理效率。因此运行中要把洗涤塔循环水的电导

度严格控制在20mS／cm以下，减少盐类堵塞

喷嘴的情况，定期对喷嘴进行清理，对循环水

泵和淋洗塔进行保养，将循环水压力控制在

1．5×lO5Pa以下，保证充足的循环水量;主系统;主系统;主系统;二次配;卧式洗涤塔;立式洗涤塔;加药桶槽及加药泵;有机排气（SOL);VOC废气处理原理-（沸石转轮）;沸石浓缩转轮加焚化处理的系统处理原理;含有VOC的废气通过系统排风机排放至VOC处理系统，90％的废气通过沸石转轮的吸附成为清洁空气排放至大气，10％的废气被加热后进人脱附区，用于对已经吸附有VOC成分的转轮部分进行脱附，由于转轮在不停地旋转，使得吸附和脱附的过程在同时不间断地进行。脱附后的高浓度VOC废气通过焚化炉风机被送入焚化炉进行焚烧处理。主要控制和运行参数包括转轮转速、脱附风量、脱附温度、转轮冷却温度、焚化炉温度等。

VOC处理系统的主要运行成本来自于焚化炉的燃料消耗，处理风量为50000m3／h的系统每年的天然气费用超过百万人民币，因此如何在保证系统处理效率的前提下降低能源消耗是系统管理人员必须要考虑的问题。在VOC处理系统所有的运行参数中，对处理效率和燃气消耗影响最大的是脱附风量和焚化炉温度。

;实例图片;系统材质应用;ThankYou!