培训系列之6(张以忱)：中真空获得设备.pptVIP

中真空获得设备;《真空技术》;6.1罗茨真空泵;概述;罗茨泵的种类;罗茨泵在真空工程领域中应用：;水环－罗茨泵机组2;旋片－罗茨泵机组;滑阀－罗茨泵机组2;罗茨泵的工作原理及其结构特点

罗茨泵的工作原理;罗茨泵具有以下特点：;抽气特点：;罗茨泵的结构;罗茨泵是双转子容积式真空泵。其在泵腔内有两个形状对称的转子，转子形状有两叶、三叶和四叶。;泵的结构特点;结构型式示意图1;泵的传动方式;传动方式示意图;2〕电动机与齿轮传动设在转子的两侧;结构图;泵的密封结构;1、主动轴外伸局部的动密封;2、齿轮箱与泵体之间的轴封;3、泵体端面的静密封;罗茨泵的润滑部位主要有三处：;罗茨泵到达的极限压力与前级泵的极限压力有关：;罗茨泵的转子型线;转子型线要求和条件：;型线的选择要考虑以下几个条件：;常用的型线线形有：;几种型线的比较;6.1.4.4实际型线

6.1.4.4.1工作间隙与装配间隙;泵在实际运转中，以下因素会使间隙减小：;装配间隙是确定转子实际型线的根据：;6.1.4.4.2装配间隙的选取;6.1.5罗茨泵设计中的关键问题;3．要求齿轮耐磨性强，传动平稳，齿间的间隙不得过大。齿轮的精度常选用5～6级。为使传动平稳，噪音小，常用斜齿轮。为使齿轮装配和调整转子间的间隙方便，可选用调隙结构齿轮并在齿轮与轴之间采用涨套联接方式。;6.1.6罗茨泵转子的冷却;6.1.6.1转子的空气冷却;6.1.6.2气冷式罗茨泵;6.1.7罗茨泵的运行过载

6.1.7.1过载分析;6.1.7.2防止过载的措施;6.2油扩散喷射真空泵;油扩散喷射泵;?油扩散喷射泵是油蒸汽流泵的一种，主要油扩散喷嘴、喷射喷嘴等组成，使之在高真空方面有较大的抽速，在低真空方面有足够的临界前级压力。具有结构简单、无机械传动局部、运转可靠、维护方便、使用寿命长等特点。主要配置在高真空系统作为主泵与前级泵的中间级，也可单独作为高真空泵应用于冶金或抽出含有少量水气的工作场合。;概述;工作原理和结构特点

工作原理;为了使泵在更宽的压力范围内具有大的抽速，同时又有高的出口压力，在实际应用中都是多级喷嘴串联起来工作的。在多级喷嘴结构中，下一级喷嘴要保证上一级喷嘴的正常工作，因此，每个单级喷嘴的抽气特性应满足：;结构特点;

1.加热器

因为扩散喷射泵工作压力较高，所以无需对泵油进行分馏。由于扩散喷射泵的加热供率较高，因此其锅炉蒸发面积和加热面积比油扩散泵的大。泵的加热器有裸露式和封闭式两种。锅炉内的蒸汽压力为1-2KPa，个别情况可达4KPa。

2.喷嘴

在油扩散喷射泵中采用伞形喷嘴，伞形喷嘴由下唇a和上帽b组成。蒸汽由与下唇相连的导流管进入喷嘴，改变方向后经喷嘴最小断面处时，蒸汽流到达音速。在之后逐渐扩大的通道内连续膨胀，到达超音速。喷嘴的张角为40o-60o扩张度〔出口断面积与最小断面积之比〕，入口级为20-50，出口级为2-3。;为了提高泵的最大出口压力，在大型油扩散喷射泵中，出口级往往采用喷射喷嘴。喷射级喷嘴需要的高压力蒸汽由锅炉直接提供。经过对高压力蒸汽进行孔板节流降压后的蒸汽供给其余各级喷嘴，使各级喷嘴的工作蒸汽压力分布更为合理。

3.泵体

油扩散喷射泵的泵体用碳钢制成，有圆筒形，也有圆锥形。小型泵采用焊在泵壳外壁上的螺旋铜管通冷却，大型泵的冷却采用水套结构。;抽气特性;泵的加热功率对抽气量和最大出口压力也有影响。当泵加热功率变化时，泵抽气量与泵入口压力之间的关系如以下图所示。当加热功率变小时，锅炉温度降低，蒸汽射流密度降低，增加了被抽气体向蒸汽射流内的扩散作用，在低压时抽气量有所增加，而在高压时抽气量有所降低。;泵最大出口压力与加热功率的关系如以下图所示。加大泵的加热功率可以提高泵的最大出口压力。;

喷嘴扩张角也影响泵的抽气量和最大出口压力。加大喷嘴的扩张角会使蒸汽射流密度下降，可提高泵在低压范围内的抽气量，而泵在高压范围内的抽气量会有所下降，如以下图1所示。喷嘴的扩张角对泵最大出口压力的影响见图2;

单级喷嘴的抽速与喷嘴出口压力的关系如以下图所示。从图中可见，当泵出口压力低于最大出口压力时，抽速不随出口压力的增加而变化。当出口压力超过最大出口压力后，泵抽速急剧下降，不能正常工作;喷嘴喉部断面积影响泵的蒸汽消耗量，蒸汽消耗量对抽气量的影响如以下图1所示。当入口压力较高时，增加工作蒸汽量可以提高泵的抽气量，在低压时，增加工作蒸汽量那么对抽气量影响不大。

泵的抽气特性与被抽气体的种类有关，对于小分子气体的抽速较大，如图2。

图1