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单晶炉培训资料

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•单晶炉基础知识

•单晶炉操作规范

•单晶炉常见故障及排除方法

•单晶炉的安全使用与管理

目录•单晶炉的维护保养与检修

•单晶炉的节能与环保措施

•单晶炉操作实例与经验分享

01

单晶炉基础知识

单晶炉的定义与分类

定义

单晶炉是一种用于生长单晶材料

的设备，广泛应用于半导体、光

伏、光电子等领域。

分类

单晶炉按生长方式可分为直拉式

单晶炉和悬浮式单晶炉；按加热

方式可分为电阻加热单晶炉和感

应加热单晶炉。

单晶炉的工作原理

010203

熔融硅料籽晶引晶控制晶体生长

在高温下将硅料熔融成液在液态硅料中引入籽晶，通过精确控制单晶炉内的

态。通过控制温度和拉速，使温度场、溶质浓度和晶体

籽晶逐渐长大成为单晶硅生长速度，获得高质量的

棒。单晶硅棒。

单晶炉的结构组成

炉体坩埚与籽晶夹持装置

包括炉壳、炉门、观察窗等部用于装载硅料和夹持籽晶，确

分，用于支撑和保护单晶炉内保籽晶在硅料中的正确位置。

部组件。

加热器控制系统

用于提供单晶炉所需的高温环包括温度控制系统、拉速控制

境，通常采用电阻加热或感应

系统和真空控制系统等，用于