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导流筒外径尺寸对直拉单晶硅的影响
晶澳太阳能
黄旭光刘世龙等
2021.12.07
目录
01模拟方案的设计05晶棒中心氧含量
02功率、拉速06固液界面形状及肩部应力分析
03硅液自由表面的径向温度分布07结论
04硅液纵向温度梯度分布
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01——模拟方案
以32寸热场为基础，石英埚尺寸不变，分析不同导流筒外径D对直拉单晶硅的影响，采用
有限元模拟的方法研究了等径前期、中期时的两个状态：
D
选取:D1、D2、D3、D4、D5、D6几种尺寸进行分析。
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02——功率、拉速
等径前期等径中期
导流筒编号导流筒编号
从模拟结果得出，随着导流筒外径的增加，功率逐渐降低，拉速呈现出小波浪形变化，从节能和提高产量
的方面考虑，选择D5比较合适。
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03——硅液自由表面径向温度分布
坩埚边缘到三相交界点处硅液的径向温度分布分析。
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03——硅液自由表面径向温度分布
等径前期等径中期
三相交界点坩埚边缘三相交界点坩埚边缘
等径前期等径中期
导流筒编号导流筒编号
随着导流筒外径的增加，虽然加热器功率降低了，但是溶液自由表面温度仍然是升高趋势（说明导流筒增大后对
液面的保温效果明显提升）；同时，坩埚边缘溶液与三相交界点处溶液的温差增大，即径向温差增大，推荐D4、D5。
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04——硅液纵向温度梯度分布
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