TZS0344-2022 数字化无掩模激光直写光刻机.pdf

ICS31.260

CCSN38

团体标准

T/ZS0344—2022

数字化无掩模激光直写光刻机

Digitalmasklesslaserdirectimaginglithographymachine

2022-11-10发布2022-11-17实施

浙江省产品与工程标准化协会  发布

T/ZS0344—2022

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4产品分类3

5工作环境3

6要求3

6.1外观、尺寸和重量3

6.2主要性能3

6.3安全要求4

6.4噪声4

7试验方法4

7.1试验条件4

7.2外观检查及尺寸、重量测量4

7.3性能试验4

7.4安全检查6

7.5噪声试验6

8检验规则6

8.1检验分类6

8.2出厂检验7

8.3型式检验7

8.4判定规则7

9标志、包装、运输、贮存7

9.1标志7

9.2包装7

9.3运输8

9.4贮存8

I

T/ZS0344—2022

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件起草单位：杭州新诺微电子有限公司、中山新诺微电子有限公司、安吉泰熙自动化有限公司、

杭州欣俊哲科技有限公司、中山新诺科技股份有限公司、中国计量大学、浙江大学、普赛微科技(杭州)

有限公司、纳晶科技股份有限公司。

本文件主要起草人：陈超、敦士军、王鹏、尚小兵、唐战备、廖平强、零萍、王珺、朱培武、乔家

亿、周绍平、简红、许贝贝、周国尊、康永印、陈锡媛、沈肖蓉。

II

T/ZS0344—2022

数字化无掩模激光直写光刻机

1范围

本文件规定了数字化无掩模激光直写光刻机的术语和定义、产品分类、工作环境、要求、试验方法、

检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于数字化无掩模激光直写光刻机（以下简称“光刻机”）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不