TCASA018-2021 微纳米金属烧结连接件剪切强度试验方法.pdf

ICS31.030

L40/49

团体标准

T/CASA018—2021

微纳米金属烧结连接件

剪切强度试验方法

Testmethodforshearstrengthofmicroandnanometal

sinteredjoints

2021-11-01发布2021-12-01实施

第三代半导体产业技术创新战略联盟发布

T/CASA018—2021

目次

前言III

引言V

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4方法原理2

5仪器及设备2

5.1推力测试机2

5.2剪切试验装置关系图2

5.3样品尺寸测量仪器3

6样品要求3

6.1样品尺寸要求3

6.2样品制备3

7测试条件3

8测试步骤4

9剪切强度的计算与参考值4

10失效模式判定4

11测试报告5

参考文献6

附录A（参考性附录）7

I

T/CASA018—2021

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本文件由北京第三代半导体产业技术创新战略联盟标准化委员会（CASAS）制定发布，版权归

CASAS所有，未经CASAS许可不得随意复制；其他机构采用本文件的技术内容制定标准需经CASAS

允许；任何单位或个人引用本文件的内容需指明本文件的标准号。

本文件起草单位：北京半导体照明科技促进中心、南方科技大学、有研粉末新材料股份有限公司、

北京康普锡威科技有限公司、上海贺利氏工业技术材料有限公司、国家纳米科学中心、哈尔滨理工大学、

香港应用科技研究院、工业和信息化部电子第五研究所、中国科学院微电子研究所、深圳基本半导体有

限公司、复旦大学、广东工业大学、西安交通大学、重庆大学、北京第三代半导体产业技术创新战略联

盟、BOSCHMANTECHNOLOGY。

本文件主要起草人：张国旗，叶怀宇、刘旭、张靖、张敬国、赵朝晖、梁明会、刘洋、谢斌、王可、

周斌、刘盼、樊嘉杰、张凯、王来利、唐宏浩、田天成、赵璐冰、高伟。

III

T/CASA018—2021

引言