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注意：敬请用户在操作使用M-RFFU风机过滤机组之前，
必须详细阅读使用说明书！并妥善保存。
M-RFFU风机过滤机组
执行标准:Q/320500BSK010-2004
使用/维护说明书
本企业已通过洁净行业协会质量体系认证
欢迎使用FFU风机过滤单元
！
由衷地感谢您加入本公司的用户队伍
1
FFU‧层流罩‧通用
安装‧使用‧维护说明书
请详细阅读本说明书，并妥善保存，以备日后维护时参考。
2
目录
1.概述
1-1风机过滤器单元3
1—2结构及特点.4
2..重要安全事项
2—1安装使用环境.5
2—2运送与安装.5
2—3安装‧使用注意事项.5
3.使用说明
3-1运转前点检事项6
3—2运转时注意事项.6
4.维护说明
4—1日常维护.
4-2定期维护7
4—3故障排除.8
附录
本说明书内容包含风机过滤器单元的安装‧使用‧维护‧方法,本机体是安装在洁净区域天花板
上，藉由滤网捕捉室内空气中的尘埃，为能平稳且安全地发挥机体性能，使用前请详细阅读此
说明书。
注：本公司为了提高产品质量和性能，在不断改进和创新中，本产品
如有更新或更改，我公司随时更改本说明书，恕不另行通知。
3
1.概述
1—1风机过滤器单元
风机过滤器单元（FFU)是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。
风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0。
45m/s±20%的风速均匀送出。
广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药.等行业。
●使用环境
‧周围温度：5℃～40℃
‧湿度：低于85％RH（没有湿气凝结状态下)
‧周围空气:一般室内空气
‧清净度:100-10级
‧请避免连续反复ON/OFF操作机体
如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组，将会影响制品性能，并可能会发生电气短
路现象，造成电气部件损坏，缩短制品使用寿命。
为能安全且有效地使用风机过滤器单元请参阅第4页的〝重要安全事项〞。
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