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真空钎焊炉预防保养检查表
Sheet3
Sheet2
前级管道保养
循环水管保养
设备名称：
炉膛保养
罗茨泵保养
扩散泵保养
炉体保养
冷却塔保养
配电系统保养
其他保养
其他事项
保养月份（)
序号
保养主要项目
保养人
保养时间
备注
设备管理号：
保养日期：
年月日
需要其他处理事项
跟踪日期：———
周保养后期跟踪情况：
机械泵、维持泵保养
月份保养次数：
实际工作内容
工作内容
确认：日期：
检查、清洁冷却塔的喷嘴，检查水质视情况更换冷却水，清洁过
滤网
检查有无漏点，皮带破损情况更换，更换罗茨泵油（换油周期为
60天），检查皮带是否完好；
烤炉、检漏
烤炉至630摄氏度时真空在负3时，对照检漏表格进行检漏，合
格后交付生产
清洁炉膛镁粉；
检查清洁高低真空计，检修热电偶完好率＞6根
检查清洁主、附控制柜和所有电器柜确保线头元件整齐、清洁、
牢固、无损坏。（C1.C2.C3.记录仪电池每年6月.12月更换电池.3.6V）
(PVT.A3.A4.PLC电池更换每年5月.12月更换.3.6V)
检查有无漏点、皮带是否损坏需要更换(C1炉机械泵皮带更换期为
3个月)，更换机械泵真空油（每月清炉空烧后更换），不需要更换时
需要确认油位，以油标为准；每3个月更换一次气震垫
检查所有的压缩空气管路是否漏气，三联件是否正常工作，给控
制阀等处加润滑油.高真空探头不准安装过滤网
保养类别：
检查扩散泵油是否腊化，放出真空油进行过滤；如扩散泵油是否
少于11.4L，检查修复损坏加热器（扩散泵油更换周期为6个月）
检查，维修和更换损坏的加热带,陶瓷和热电偶与插座，更换损坏
密封件（周保养A3、A4前小门密封圈必须更换）；
检查并清洁高阀、低阀，检查低阀和高阀是否存在内漏和外漏,高
阀弯头每三个月清理一次。
检查所有冷却水管路和接头是否有泄漏，清理过滤网，检查水温
工作系统，更换冷却水。每3个月清理一次变压器水路
（A1.A2.A3.A4)。炉体及前后门压力安全阀保持常开.扩散泵水路每3
个月清理一次。
REV.H
真空钎焊炉设备保养检查表
1.00
2.00
3.00
4.00
5.00
6.00
7.00
8.00
9.00
10.00
11.00
12.00
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