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等离子清洗器操作保养规程

等离子清洗器是一种用于清洗微电子器件的高科技设备，能够有效

去除微电子器件表面的氧化层、有机污染物及其它杂质等。本文介绍

了等离子清洗器的操作保养规程，以确保设备的正常运行和使用期限。

1.设备准备

在操作等离子清洗器之前，先进行以下检查和准备：

1.确保所有电源、气源、真空管路和泵的接线正确，无松动

和漏气情况。

2.确保设备周围环境整洁，不要有灰尘和其它杂物。

3.将等离子清洗器接通电源，待设备展开并进入正常工作状

态后再进行操作。

2.操作步骤

2.1打开清洗室

1.点击设备上的开门按钮，等待清洗室门被完全打开。

2.向清洗室内喷洒纯水，用干净的布擦拭清洗室内的表面和

各个位置，然后用空气吹干。

2.2选择清洗程序

1.打开设备上的控制面板，选择所需的清洗程序，可根据清

洗对象和清洗难度等选择不同的程序。

2.按下启动按钮，等待设备进入清洗模式。

2.3清洗操作

1.将待清洗的器件放入等离子清洗器内，确保器件表面不被

伤损。

2.等待清洗程序执行完毕，并根据清洗完成提示判断是否再

次进行清洗操作。

3.取出清洗好的器件，放入器盒中，用纯净的干气吹干。

2.4关闭清洗室

1.将器盒放回清洗室内，并注意盖紧清洗室门。

2.按下关闭按钮，等待清洗室门完全关闭。

3.设备保养

为了确保等离子清洗器的正常运行和使用寿命，需要进行以下保养：

1.定期检查气源管路和泵的密封性，并进行松动和漏气的处

理。

2.定期更换过滤器，确保清洗室内的气体和水质纯净。

3.定期清洗和更换清洗室内的阴极和阳极，延长等离子清洗

器的使用寿命。

4.注意事项

在操作等离子清洗器时，需要注意以下事项：

1.等离子清洗器属于高压电器设备，严禁擅自改装、维修或

进行任何不当操作。

2.清洗室内处理的器件应当合理放置，以免相互摩擦或过密

排列导致清洗效果不佳。

3.操作人员需要穿戴静电防护服、手套和帽子等防护用品，

以避免静电干扰和个人受伤。

5.结论

等离子清洗器是一种高科技清洗设备，在进行操作和保养时需要遵

守规程和注意事项。只有正确使用和保养等离子清洗器，才能确保器

件表面得到彻底的清洗、除杂和氧化层去除，从而保证微电子产品质

量和工作稳定性。