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光致抗蚀剂相关行业项目操作方案.docx

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    光致抗蚀剂相关行业项目操作方案

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    光致抗蚀剂相关行业项目操作方案

    目录

    TOC\o1-9前言 3

    一、土建工程说明 3

    (一)、建筑工程设计原则 3

    (二)、光致抗蚀剂项目工程建设标准规范 4

    (三)、光致抗蚀剂项目总平面设计要求 6

    (四)、建筑设计规范和标准 7

    (五)、土建工程设计年限及安全等级 8

    (六)、建筑工程设计总体要求 9

    (七)、土建工程建设指标 10

    二、产品规划 11

    (一)、产品规划 11

    (二)、建设规模 12

    三、光致抗蚀剂概述 14

    (一)、光致抗蚀剂项目名称及建设性质 14

    (二)、光致抗蚀剂

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