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华中科技大学机械科学与工程学
院
2015-2016年第1学期课程
报告
考生姓名：潜世界考生学号：
M201570372
专业、班级：机硕1502班
课程名称：微纳制造技术基础
授课教师：朱福龙
课程成绩：
考查日期：2015年11月
摘要
陀螺仪是一种能够敏感载体角度或角速度的惯性器件，在姿态控制和导航定
位等领域有着非常重要的作用。传统的机械陀螺仪由于体积大、成本高、不适合批量生产等因
素制约了其在很多方面的应用。在科技发展的推动以及市场需求的牵引下，陀螺仪正朝着高精
度、高可靠性、微型化、多轴测量和多功能测量的方向发展。随着MEMS技术的发展，
MEMS微细加工工艺在惯性器件制作中的应用大大减小了陀螺仪的尺寸，降低了生产成本，使
其能够在汽车、工业自动化、消费电子等领域得到更广泛的应用。
文章首先对陀螺仪做了简单的原理和功能介绍，阐述了当前微陀螺仪是非
常具有前景的研究防线，并简单介绍了几种常见的微陀螺仪，然后对微陀螺仪的结构进行了简
单的分析并且分析了微机械陀螺仪的设计及制造过程和工艺方
法并对其中的技术难点进行了分析，也对加工陀螺仪必须的MEM工艺进行了概
述，然后对微陀螺仪的前景及应用进行了进一步的探讨。
关键词：微机械陀螺仪、MEM技术、制造过程
Abstract
Gyroscopeisakindofinertialdevicewhichcanbesensitive
totheangleorangularvelocityofthecarrier,whichisvery
importantinattitudecontrolandnavigation.Becauseofthelarge
volume,highcostandnotsuitableformassproduction,the
traditionalmechanicalgyroscopehasbeenusedinmanyaspects.Driven
bythedevelopmentofscienceandtechnologyandthedemandofthe
market,thegyroscopeisdevelopinginthedirectionofhigh
precision,highreliability,miniaturization,multiaxismeasurement
andmultifunctionmeasurement.WiththedevelopmentofMEMS
technology,theapplicationofMEMSmicromachiningtechnologyinthe
fabricationofinertialdevicegreatlyreducesthesizeofthe
gyroscope,reducesthecostofproduction,andcanbeusedinthe
fieldsofautomobile,industrialautomation,consumerelectronicsand
otherfields.
Firstly,thispaperintroducestheprincipleandfunctionof
thegyroscope.Thecurrentresearchonthemicrogyroscopeisvery
promising,andsomecommonmicrogyroscopeisintroduced.Thenthe
structureofthemicrogyroscopeisanalyzed.Thedesignand
manufacturingprocessand
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