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带冷却功能的新型晶圆研磨盘技术

带冷却功能的新型晶圆研磨盘技术是半导体制造领域中的一项重要创新，旨在解决传统研磨盘在研磨过程中温度变化的问题，确保研磨后产品的厚度和平整度达到极高标准。以下是对该技术的详细介绍：

一、技术背景

在半导体制造过程中，晶圆研磨是一个至关重要的环节。然而，传统研磨盘在长时间研磨过程中，由于摩擦产生的热量无法及时散发，导致研磨盘温度升高，进而影响研磨效果和产品质量。因此，研发带冷却功能的新型晶圆研磨盘技术成为解决这一问题的关键。

二、技术特点

带冷却功能的新型晶圆研磨盘技术具有以下显著特点：

三层结构设计：该研磨盘采用三层结构设计，包括下层氧化铝陶瓷板、中层氧化铝陶瓷板和多孔陶瓷层。这种设计不仅提高了研磨盘的硬度和耐磨性，还为冷却系统的嵌入提供了空间。

冷却系统：在下层氧化铝陶瓷板的上表面中部，开设有若干下层环形沟槽和下层直线沟槽，它们之间相连通。最外侧下层环形沟槽的一侧外壁设置有进水孔，另一侧外壁设置有出水孔。冷却水通过进水孔进入研磨盘内部，在沟槽中流动并带走热量，然后通过出水孔排出。中层氧化铝陶瓷板的顶部表面也开设有圆形的凹槽和相连通的中层环形沟槽及中层直线沟槽，这些沟槽同样起到散热作用。

恒温研磨：通过冷却系统的作用，该研磨盘能够始终保持一个恒定的温度，避免了因温度变化而导致的研磨效果不稳定问题。这确保了研磨后产品的厚度和平整度达到极高标准。

三、应用优势

带冷却功能的新型晶圆研磨盘技术在应用中表现出以下优势：

提高研磨效率：由于冷却系统的存在，研磨盘能够保持较低的温度，从而减少了因温度升高而导致的研磨阻力增大问题。这提高了研磨效率，缩短了研磨时间。

保证产品质量：恒温研磨确保了研磨后产品的厚度和平整度达到极高标准，满足了半导体制造对晶圆质量的高要求。

延长研磨盘使用寿命：冷却系统有效降低了研磨盘的温度，减少了因高温而导致的磨损和损坏问题。这延长了研磨盘的使用寿命，降低了生产成本。

四、发展前景

随着半导体技术的不断发展，对晶圆质量的要求也越来越高。带冷却功能的新型晶圆研磨盘技术作为提高研磨效率和产品质量的重要手段之一，具有广阔的发展前景。未来，该技术将不断得到优化和改进，以适应更高要求的半导体制造需求。

综上所述，带冷却功能的新型晶圆研磨盘技术是半导体制造领域中的一项重要创新。它解决了传统研磨盘在研磨过程中温度变化的问题，确保了研磨后产品的厚度和平整度达到极高标准。该技术具有广阔的应用前景和发展潜力，将为半导体产业的发展提供有力支持。

高通量晶圆测厚系统以光学相干层析成像原理，可解决晶圆/晶片厚度TTV（TotalThicknessVariation，总厚度偏差）、BOW（弯曲度）、WARP（翘曲度），TIR（TotalIndicatedReading总指示读数，STIR（SiteTotalIndicatedReading局部总指示读数），LTV（LocalThicknessVariation局部厚度偏差）等这类技术指标；

高通量晶圆测厚系统，全新采用的第三代可调谐扫频激光技术，相比传统上下双探头对射扫描方式；可一次性测量所有平面度及厚度参数。

1,灵活适用更复杂的材料，从轻掺到重掺P型硅(P++)，碳化硅，蓝宝石，玻璃，铌酸锂等晶圆材料。

重掺型硅（强吸收晶圆的前后表面探测）

粗糙的晶圆表面，（点扫描的第三代扫频激光，相比靠光谱探测方案，不易受到光谱中相邻单位的串扰噪声影响，因而对测量粗糙表面晶圆）

低反射的碳化硅(SiC)和铌酸锂(LiNbO3)；（通过对偏振效应的补偿，加强对低反射晶圆表面测量的信噪比）

绝缘体上硅（SOI)和MEMS，可同时测量多层结构，厚度可从μm级到数百μm级不等。

可用于测量各类薄膜厚度，厚度最薄可低至4μm，精度可达1nm。

可调谐扫频激光的“温漂”处理能力，体现在极端工作环境中抗干扰能力强，一改过去传统晶圆测量对于“主动式减震平台”的重度依赖，成本显著降低。

2，灵活的运动控制方式，可兼容2英寸到12英寸方片和圆片测量。