可调的透明导电膜研究进展 .pdfVIP

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闻．云匕『

其理论最佳电导率为２．５×１０Ｑ。ｃｍ一，故在艺。紫外线固化具有快速固化和低温固化的

大尺寸平面显示器上应用受到限制。何况铟特点，有助于提高产品质量，保持颜色一

致，缩短固化时间，防止大气污染，减少火

（Ｉｎ）在自然界属稀贵金属，其资源稀缺，

灾危险和改善作业环境，并解决了溶剂型上

Ｉｎ矿的品位又很低，生产成本高昂。因此，

光涂料因温度、湿度变化造成的粘连。紫外

就迫切需要寻找光电性能更佳、制造成本更

固化灯一般用汞灯和金属卤化物灯，工业生

低的透明导电膜。

产用的紫外灯属于长波长的紫外灯（３５Ｏ～

在降低氧化物透明导电膜（ＴＣＯ）的电

４５０ｎｍ），主峰为３６５ｎｍ。但是在实际的使

阻和生产成本方面，尽管后来开发的掺杂

用过程中由于紫外灯光源等问题会产生大量

ＺｎＯ．ＡＩＺＡＯ）（、Ｚｎ３Ｉｎ１９７５Ｓｎｏ．０２５Ｏ６（ＺＩＴＯ）、

的热量，紫外线高压汞灯将６０％的总功率转

Ｏ３：Ｍｏ（ＩＭＯ）、ＺｎＯ一Ｏ３一ｓｎＯ２、Ｉｎ４Ｓｎ３Ｏ】２等

变为红外辐射，灯管表面温度可升到７００～

取得了不少进展，但到目前为止，所有开发

８００℃。紫外光固化装置中采用高功率灯和

的新型氧化物透明导电膜载流子浓度还没有

多灯系统时，为了避免材质过热，装置中一

突破ＩＴＯ的１０２１ｃｍ。的界限，即电阻率低于

般要采取多种措施来冷却灯管、反射灯罩以

ＩＴＯ的新型ＴＣＯ还未见报道，ＩＴＯ仍然是目前

及基材。因此在用于光固化涂料时，要设法

最好的ＴＣＯ材料。因此，我们认为要进一步调节好温度，避免材质过热，特别是对于热

降低透明导电薄膜的电阻率，提高其光学性敏感衬底材料，隔热就显得非常重要。

能应另辟蹊径。目前国内外常用的冷却法有两种，其

从导电的角度看，金属导电性好，如：风冷却，这种方法是现今应用最多的方

一

Ａｇ和Ｃｕ的电阻率Ｌ￣ＩＴＯ的低近两个数量级，法。美国专利Ｕ．Ｓ．Ｐａｔ．Ｎｏ．４，５６３，５８９，该专

然而金属一般只有当其厚度低于２０ｎｍ时才