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２００８年第２７卷第１期传感器与微系统（ＴｒａｎｓｄｕｃｅｒａｎｄＭｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ）１５

压力传感器在石化行业的应用与国产化探讨

刘仁，史创，王晓浩，唐飞，张大成

（１．中国石油兰州石油化工公司仪表厂。甘肃兰州７３００６０；

２．清华大学精密仪器与机械学系。北京１０００８４；

３．北京大学微电子学系，北京１００８７１）

摘要：分析了石化行业对压力变送器的需求，得出石化行业对压力传感器的要求：测量精度、快速响应、

温度特性和静压特性、长期稳定性。微压力传感器具有许多传统压力传感器不具备的优点，能够满足石化

行业对压力传感器的要求。介绍了当前石化领域正在使用的ＭＥＭＳ压力传感器及其结构特点；对比国内

外厂商生产的压力传感器性能，明确了压力传感器国产化问题的关键是如何提高传感器长期稳定性问题。

关键词：压力传感器；石化行业；国产化

中图分类号：ＴＰ２ｌ２文献标识码：Ａ文章编号：１０００－９７８７（２００８＞ｏｉ－００１５－０４

Ａ‘ｎａｌ－ｙｓｉｓｏｒａ－ｎＤＤ－ｌｉｃａｎ０ｎａｎｃ０Ｊ●１Ｉｌ’ｏｃａｌ－‘ｉｚａＪ●Ｕ０ｎ０ＩｎＤｒｅｓｓｕｒｅ

ｓｅｎｓｏｒｉｎｐｅｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌｉｎｄｕｓｔｒｙ

ＬＩＵＲｅｎ，ＳＨＩＣｈｕａｎｇ，ＷＡＮＧＸｉａｏ．ｈａｏ，ＴＡＮＧＦｅｉ，ＺＨＡＮＧＤａ．ｃｈｅｎｇ。

（１．ＣＮＰＣＬＰＣＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｌａｎｚｈｏｕ７３伽椰，Ｃｈｉｎａ；

２．ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＰｒｅｃｉｓｉｏｎＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓａｎｄＭｅｃｈａｎｏｌｏｇｙ，ＴｓｉｎｇｈｕａＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００８４，Ｃｈｉｎａ；

３．ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ．ＰｅｋｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｂｅｔｉｉｎｇ１００８７１，Ｃｈｉｎａ）

Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓｏｆｐｒｅｓｓｕｒｅｔｒａｎｓｍｉｔｔｅｒｉｎｐｅｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌｉｎｄｕｓｔｒｙｉｓｄｉｓｃｕｓｓｅｄ．Ｈｉｇｈａｃｃｕｒａｃｙ，ｈｉｇｈ

ｒｅｓｐｏｎｓｅ，ｈｉｇｈｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙ，ｌｏｗｓｔａｔｉｃｅｒｒｏｒａｎｄｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｅｉＴｏｒａｒｅｃｏｎｓｉｄｅｒｅｄｔｏｂｅｔｈｅｍｏｓｔｉｍｐｏ￣ａｎｔ

ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｓｆｏｒｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒｕｓｅｄｉｎｐｅｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌｉｎｄｕｓｔｒｙ．ＭＥＭＳｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒ，ｗｉｔｈｍａｎｙｅｘｔｒａｂｅｎｅｆｉｔｓ，

ｉｓｍｏｒｅａｄｖｉｓａｂｌｅｔｏｂｅａｐｐｌｉｅｄｉｎｐｅｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌｉｎｄｕｓｔｙｒｔｈａｎｃｏｎｖｅｎｔｉｏｎａｌｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒ．ＭＥＭＳｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒ

ａｐｐｌｉｅｄｉｎｐｅｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌｉｎｄｕｓｔｒｙｃｕｒｒｅｎｔｌｙａｒｅａｎａｌｙｚｅｄ．Ｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒｓｍａｄｅｂｙｌｏｃａｌａｎｄａｂｒｏａｄｍａｎｕｆａｃｔｏｒｙ

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