三元金属氧化物透明导电薄膜的制备及特性 .pdfVIP

第35卷，增刊红外与激光工程2006年lO月

V01．35InfraredandLascrOct．2006

SupplementEngineering

三元金属氧化物透明导电薄膜的制备及特性

张治国

(泉州师范学院功能材料研究所，福建泉州362000)

摘要：介绍snIncu三种金属合金的氧化物薄膜的合成，对各种元素的含量做了分析，证明薄膜的透过

率可以和ITo薄膜持平，对紫外线有较高透过率。指出了退火过程对透过率的影响．通过对元素能谱的测量，

发现薄膜中元素含量与金属的比含量有关．对比了薄膜和衬底的元素含量，清楚了测量中出现的疑点。同时

也给出了各种元素在膜中的分布情况、电导率与温度的关系。对材料的光学带隙与吸收系数的关系做了描述，

对扩展态迁移率与迁移率边和费米能级之闻的关系进行了讨论．

关键词：金属氧化物；导电膜；反应蒸发；光电特性

中图分类号：TN3．4．2文献标识码：A文章编号：1007．2276(2006)增B．0200．06

ofsnl吠(cul哕I呦xo

Propertiesnesapreparedby

reactioneVaporation

ZHANG

Zhi—guo

0nstitutcof舭ti∞宣lmat鲥“，Qu如zhouNomalUniVe岱咄刨i柏quan商ou362000，cIIin曲

Abstract：Oxidenesaof廿l】汜emetalsSnInCupr印arebyreactionev印oration，themetalscoI印onentinnesais

analyzed，the仃ansmittiVit)，isequaltoITOfilm，whichhashighertransmittiVityatultraVioletregionisgained．the

effectofannealingstepon仃ansmittiVit)rispointed．Bymeasuringnleene玛yspec仇mlofelements，therelationship

matthequantityofelementinthenesaisproportionalwitllspecmcmassofmetalisfound．Thequantitiesof

elementsinnesaa11dsubs仃ateareconlpared，thequestionsmatemerginginmeasuringisknown．Thedistributionof

eVeryelementinmenesais西Ven．Therelat