上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术研究中心 .pdfVIP

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TiAlSiN涂层的研究与应用进展125

[44]吴雁,王犁,陈强,等.阴极电弧制备AlTiN和contentonmicrostructureandmechanicalproperties

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余东海王成勇

,,

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[46]CHENL,DUY,WANGAJ,etal.EffectofAl

PVD)

上海应用技术大学教授,研究生导师现任上海物理气相沉积(

张而耕,。超硬

涂层及装备工程技术研究中心常务副主任。1995年7月毕业于辽宁工程技术大学机械

系2000年3月在沈阳建筑大学机械系获得硕士学位,2003年3月在华东理工大学获得

化工过程机械博士学位,2007年12月至2010年1月在华东理工大学材料科学与工程学

院从事博士后研究工作以第一作者身份发表论文40余篇其中SCI.EI收录12,

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