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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN102747334A
(43)申请公布日2012.10.24
(21)申请号CN201210172083.3
(22)申请日2012.07.30
(71)申请人中国科学院宁波材料技术与工程研究所
地址315201浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
(72)发明人宋伟杰魏铁峰杨晔张贤鹏黄金华兰品军朱科
(74)专利代理机构杭州天勤知识产权代理有限公司
代理人刘诚午
(51)Int.CI
C23C14/35
C23C14/08
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
一种氧化锌基透明导电薄膜及其制
备方法
(57)摘要
本发明公开了一种氧化锌基透明导
电薄膜及其制备方法，将制得的浆料通过
成型、冷等静压的方法得到陶瓷胚体，再
通过调节烧结过程中的升温程序得到高质
量的靶材，然后通过磁控溅射方法得到含
钛共掺杂的氧化锌基导电薄膜，所得到的
导电薄膜具有高的折射率，在硅基薄膜太
阳能电池中应用可以提升与硅薄膜折射率
的匹配度，减小光在界面处的反射，进而
提高电池效率。该方法制备含钛共掺杂氧
化锌基透明导电薄膜所用的原料便宜，操
作简单，适于规模生产，具有良好的太阳
电池及光电应用前景。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址
的变更IPC(主分类):C23C14/35
专利号:ZL2012101720833变更事
项:专利权人变更前:宁波森利电
子材料有限公司变更后:森祥(宁
专利权人的姓名或者
2023-06-20波)新材料有限公司变更事项:地
名称、地址的变更
址变更前:315172浙江省宁波市
鄞州区望春工业园区科欣路317
号变更后:315175浙江省宁波市
海曙区望春工业园区布政东路
367号
权利要求说明书
1.一种氧化锌基透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括：
（1）将混合氧化物粉体、水和高分子添加剂按照重量比100∶40~80∶1~3
的比例混匀以形成稳定的浆料；
所述的混合氧化物粉体以重量百分比计，组成为：
ZnO96~98%
Msuba/subOsubb/sub1~2%
TiOsub2/sub0~3%
所述的ZnO、Msuba/subOsubb/sub和TiOsub2/sub纯度均至少为
99.99%，所述的Msuba/subOsubb/sub选自
Alsub2/subOsub3/sub、Gasub2/subOsub3/sub、
Insub2/subOsub3/sub或者Bsub2/subOsub3/sub；
所述的高分子添加剂选自聚乙烯醇、聚乙二醇、聚丙烯酸、聚丙烯酸
铵中至少一种
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